Post on 06-Mar-2020
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デジタル・アナログ通信モデル
SEC-N106
デバイスネット™通信モデル
プロフィバス™通信モデルDC24V駆動、電流/電圧制御モデル
SEC-N102 SEC-N102W面間寸法124㎜~ 106㎜~
SEC-N104 SEC-N104W
面間寸法124㎜~
面間寸法124㎜~
CC-Link®通信モデル
SEC-N105 面間寸法124㎜~
106㎜~面間寸法
面間寸法
デジタルマスフローコントローラDigital Mass Flow Controller
EtherCATⓇ通信モデル
SEC-N107 面間寸法124㎜~
お客様のニーズに合う通信方式、面間寸法、流量制御範囲をラインアップ。
通信方式はデジタル・アナログ通信モデル、デバイスネット™通信モデル、CC-Link®・アナログ通信モデル、プロフィバス™・アナログ通信モデル、EtherCATⓇ通信モデルをラインアップ。標準面間サイズも124mm~のスタンダードモデルと、106mm~のWタイプを用意しております。※
対応制御流量は10 SCCMから1000 SLMまでと幅広く、様々な分野のガス制御に利用可能です。
※WタイプはSEC-N102(デジタル・アナログ通信モデル)、SEC-N104(デバイスネット™通信モデル)に対応しています。※継手は1/4”VCR相当となります。
「太陽電池パネル」や「燃料電池」、「LED」や「液晶パネル」など、現在注目を集めている産業分野での研究・製造において、ガスは様々な目的・用途で用いられており、品質・生産性の向上にはその正確な流量の計測と制御が不可欠とされています。HORIBA STECは最先端の半導体製造プロセスに対応するガスの流体制御機器、マスフローコントローラを開発・販売しており、その優れた性能と高い信頼性により世界中の市場で大きな支持をいただいています。この最先端フィールドで培った技術をベースに、幅広い産業分野でご使用いただけるマスフローコントローラ、
SEC-N100 Seriesをご用意いたしました。デジタル・アナログ、デバイスネット™、CC-Link® 、プロフィバス™、EtherCATⓇの通信モデルを選択できるほか、ご用途に合ったサイズ・流量制御範囲をカバーしています。SEC-N100 Seriesは幅広いモデルでお客様のニーズにお答えいたします。
● SEC-N11×(W)・SEC-N12×(W)は標準継手1/4”VCR相当、SEC-N13×・SEC-N14×は標準継手1/2”VCR相当となります。 ● 流量制御範囲はフルスケール流量値の2%から行えます。 (SEC-N17×は5%から)
デジタル通信▶RS485 F-Net Protocol
10 SCCM
10 SLM50 SLM 100 SLM 200 SLM
SEC-N112
SEC-N112W
SEC-N122
SEC-N122W
SEC-N132 SEC-N142
▶駆動電源 ±15VDC(±5%)▶専用電源PE Seriesを ラインアップしています。
SEC-N102
SEC-N102W
124㎜~面間寸法
106㎜~
流量レンジ(フルスケール流量)
アナログ通信▶0~5VDC
幅広いラインアップ
面間寸法
面間寸法132mm~ 面間寸法132mm~
1000 SLM
SEC-N172
▶駆動電源 ODVA規格
デバイスネット™通信
SEC-N104
124㎜~面間寸法
SEC-N104W
106㎜~面間寸法
SEC-N114 SEC-N124 SEC-N134面間寸法132mm~
SEC-N144面間寸法132mm~
SEC-N174
SEC-N114W SEC-N124W
CC-Link®通信
アナログ通信▶0~5VDC, 0~10VDC, 4~20mA
▶駆動電源 24VDC (13~32VDC)
SEC-N105
124㎜~面間寸法 SEC-N115 SEC-N125 SEC-N135
面間寸法132mm~SEC-N145面間寸法132mm~
SEC-N175
▶駆動電源 24VDC (13~32VDC)
プロフィバス™通信
SEC-N106
124㎜~面間寸法 SEC-N116 SEC-N126 SEC-N136
面間寸法132mm~SEC-N146面間寸法132mm~
SEC-N176
▶駆動電源 24VDC
EtherCATⓇ通信SEC-N107
124㎜~面間寸法 SEC-N117 SEC-N127 SEC-N177
1
アナログ通信▶0~5VDC, 0~10VDC, 4~20mA
y=ax5+bx4+cx3+dx2+ex+f
60%20%0
20%
40%
60%
80%
100%
80% 100%40%
流量出力信号
ガス流量
多項式近似曲線による高度なデジタル流量補正を施す事により、全流量域における流量精度の向上を実現しました。また高精度流量計測システムを用い、多種のプロセスガス流量を計測し、プロセスガスの流量精度の向上を図っています。
全流量域にわたる高速応答を可能とするVariable PIDアルゴリズム(特許第3893115号)を新たに搭載しました。Variable PIDアルゴリズムとは、設定流量に応じた最適PID係数を用いる制御方式です。フルスケール流量・ガス種の変更後も高速応答性を実現します。当社のハイエンドモデル:SEC-Z500X Seriesに標準搭載し半導体プロセスにおいても高い評価を得ています。
Accuracy ±1.0% S.P. : 30–100% F.S.±0.3% F.S. : ≦30% F.S.
MFC
MFC
MFC
MFC
MFC M
FCM
FC
MFC
MFC
MFC
MFC
MFC
N2
ArCF4CO
C2H4C2F6NF3
O2SiH4
PH3SiF4
H2SF6Easy spec change
at customer
パソコン (Windows)ソフトウェア
Serial Converter
変換アダプタ
※CC-Link®通信モデルは専用ケーブルをご使用ください。(オプション)
USBケーブル
信号ケーブル
RS485通信ケーブル※
USBケーブル
ラベルプリンタ
電源+15, -15VDC
SEC-N100
セットポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載
【全流量域にわたる高速応答】
新開発のVariable PIDアルゴリズムを搭載:フルレンジ1秒以内
お客様ご自身でマスフローコントローラ(MFC)の流量レンジ・使用ガスを変更できます。
【マルチレンジ・マルチガス機能を搭載】
専用ソフトウェアを用い、簡単操作で仕様変更が可能本ソフトは使用されるガス種・流量レンジを入力していただく事により“MR・MG番号”を選択できる機能や、お客様の受入検査時に行われるN2ガスによる流量測定時に便利な“N2ガス換算機能”、MFCの動作状態の確認等のユーザーフレンドリーな機能をワンパッケージにしたソフトウェアです。
専用ソフトウェア : Configuration Software
【流量精度の向上】
N2 100 SCCM Ar 110 SCCM例:SEC-N100 MR・MG-02
例:SEC-N100 MR・MG-04
N2 1000 SCCM N2 250 SCCM
流量制御範囲20~1000 SCCM
流量制御範囲5~250 SCCM
マルチレンジ対応流量レンジの変更が行えます。
マルチガス対応使用ガスの変更が行えます。
(SEC-N11×(W)/N12×(W))
当社では本ソフトを間違い無くご使用いただくために、操作トレーニングを開催しています。当トレーニングの開催につきましては当社までお問い合わせください。
流量設定: 100%
流量設定: 80%
流量設定: 60%
流量設定: 40%
流量設定: 20%
流量設定: 10%
流量設定信号
流量制御信号
0 1sec 2sec 3sec
5V
3V
1V
応答時間流量信号
2
製品仕様一覧
▶通信・電源仕様デジタル・アナログ通信モデル
0.1~5VDC(2%~フルスケール) 入力インピーダンス 1MΩ以上
0~5VDC(0%~フルスケール) 最小負荷抵抗 2kΩアドレス機能付:RS-485(伝達速度 38400bps) F-Net Protocol
+15V±5% 150mA
-15V±5% 200mA
+15V±5% 150mA
-15V±5% 250mA
+15V±5% 150mA
-15V±5% 150mA
+15V±5% 150mA
-15V±5% 200mA
マスフローコントローラ型式マスフローメータ型式流量設定信号流量出力信号デジタルインターフェイス
駆動電源
SEC-N112MGM
SEF-N112MGM
SEC-N112MGR(W)SEF-N112MGR(W)
SEC-N122MGM
SEF-N122MGM
SEC-N122MGR(W)SEF-N122MGR(W)
SEC-N132MGM
SEF-N132MGM
SEC-N132MGR
SEF-N132MGR
SEC-N142MGM
SEF-N142MGM
SEC-N172R
SEF-N172R
SEC-N142MGR
SEF-N142MGR
SEC-N102(W)
デバイスネット™通信モデル SEC-N104(W)マスフローコントローラ型式マスフローメータ型式デジタルインターフェイス
駆動電源
SEC-N114MGM
SEF-N114MGM
SEC-N114MGR(W)SEF-N114MGR(W)
SEC-N124MGM
SEF-N124MGM
SEC-N124MGR(W)SEF-N124MGR(W)
SEC-N134MGM
SEF-N134MGM
SEC-N134MGR
SEF-N134MGR
SEC-N144MGM
SEF-N144MGM
SEC-N174R
SEF-N174R
SEC-N144MGR
SEF-N144MGR
DeviceNet™ Protocol
ODVA規格合格品 DC24V
7.0VA 4.0VA 7.0VA
CC-Link®通信・アナログ通信モデル SEC-N105マスフローコントローラ型式マスフローメータ型式流量設定信号流量出力信号デジタルインターフェイス
駆動電源
SEC-N115MGM
SEF-N115MGM
SEC-N115MGR
SEF-N115MGR
SEC-N125MGM
SEF-N125MGM
SEC-N125MGR
SEF-N125MGR
SEC-N135MGM
SEF-N135MGM
SEC-N135MGR
SEF-N135MGR
SEC-N145MGM
SEF-N145MGM
SEC-N145MGR
SEF-N145MGR0.1~5VDC/0.2~10VDC/4.32~20mA(2%~フルスケール)
0~5VDC/0~10VDC/4~20mA(0%~フルスケール)
CC-Link® Protocol 局種別:リモートデバイス局、占有局:1局占有、CC-Link®バージョン:Ver.1.10
24VDC(13~32VDC)
SEC-N175R
SEF-N175R
7.5VA 4.5VA 7.5VA
▶共通仕様一覧
バルブ型式コントロールバルブ全閉時流量流量制御範囲流量測定範囲(SEF)
流量精度 ※1
使用可能周囲温度応答性直線性繰り返し再現性
動作差圧
使用圧力(SEF)最大動作(使用)圧力耐圧
SEC-N112MGM
SEC-N114MGM
SEC-N115MGM
SEC-N116MGM
SEC-N117MGM
SEF-N112MGM
SEF-N114MGM
SEF-N115MGM
SEF-N116MGM
SEF-N117MGM
SEC-N112MGR(W)SEC-N114MGR(W)SEC-N115MGR
SEC-N116MGR
SEC-N117MGR
SEF-N112MGR(W)SEF-N114MGR(W)SEF-N115MGR
SEF-N116MGR
SEF-N117MGR
SEC-N122MGM
SEC-N124MGM
SEC-N125MGM
SEC-N126MGM
SEC-N127MGM
SEF-N122MGM
SEF-N124MGM
SEF-N125MGM
SEF-N126MGM
SEF-N127MGM
SEC-N122MGR(W)SEC-N124MGR(W)SEC-N125MGR
SEC-N126MGR
SEC-N127MGR
SEF-N122MGR(W)SEF-N124MGR(W)SEF-N125MGR
SEF-N126MGR
SEF-N127MGR
50~300kPa(d)MR.MG-5.5,06:100~300kPa(d) 200~300kPa(d)
6.5 : 22SLM07 : 30SLM08 : 50SLM
非通電時 閉(クローズ):Cフルスケールの2%未満フルスケールの2~100%
フルスケールの0~100%
±1.0%S.P.(設定流量>30%F.S.) ±0.3%F.S.(設定流量≦30%F.S.)
5~50℃(推奨温度15~45℃)
1秒以内:全流量制御範囲フルスケールの±0.5%
フルスケールの±0.2%
300kPa(d)以下
450kPa(g)
1000kPa(g)
5×10-12Pa・m3/s (He)以下 1×10-10Pa・m3/s (He)以下 5×10-12Pa・m3/s (He)以下 1×10-10Pa・m3/s (He)以下
SUS316L PTFE磁性ステンレス ※2
SUS316L PTFE磁性ステンレス ※2 フッ素ゴム
SUS316L PTFE磁性ステンレス ※2
SUS316L PTFE磁性ステンレス ※2 フッ素ゴム
※1 MR.MG番号のフルスケール値に対する精度です(SEC(F)-N17×Rモデルは除く)。流量精度の保証温度は、SEMI規格に準拠しています。詳しくはお問合せください。 ※2 マスフローメーターは、PTFE、磁性ステンレスを使用していません。 ※3 1/4" Swagelok相当はSEC-N1××RWに対応しています。 ※4 3/8" Swagelok相当はSEC-N13×R、SEC-N14×Rに対応しています。 ※5 二次側圧力 0kPa(g)以上でご使用ください。
R01 : 10SCCMR1.5 : 17.5SCCM01 : 30SCCM1.5 : 55SCCM02 : 100SCCM
2.5 : 175SCCM03 : 300SCCM3.5 : 550SCCM04 : 1SLM4.5 : 1.75SLM
マスフローコントローラ型式
マスフローメータ型式
フルスケール流量(N2換算流量)
マルチレンジ・マルチガス(MR.MG)の番号で流量レンジを分けています。(SEC(F)-N17×Rモデルは除く)
05 : 3SLM5.5 : 5.5SLM06 : 10SLM
外部リークレート
接ガス部材質
標準継手取付可能姿勢
1/4" VCR相当、1/4" Swagelok相当 ※3
自由
3
● SCCM、SLMはガス流量(mL/min、L/min、at0℃101.3kPa)を表す記号です。 ● 製品の仕様の記載内容に変更が生じることがなく、生産性向上のための使用部品・生産手法などの変更は、お客様へ通知せずに随時行っています。あらかじめご了解ください。
バルブ型式コントロールバルブ全閉時流量流量制御範囲流量測定範囲(SEF)
流量精度 ※1
使用可能周囲温度応答性直線性繰り返し再現性
動作差圧
使用圧力(SEF)最大動作(使用)圧力耐圧
SEC-N132MGM
SEC-N134MGM
SEC-N135MGM
SEC-N136MGM
ーSEF-N132MGM
SEF-N134MGM
SEF-N135MGM
SEF-N136MGM
ー
SEC-N132MGR
SEC-N134MGR
SEC-N135MGR
SEC-N136MGR
ーSEF-N132MGR
SEF-N134MGR
SEF-N135MGR
SEF-N136MGR
ー
SEC-N142MGM
SEC-N144MGM
SEC-N145MGM
SEC-N146MGM
ーSEF-N142MGM
SEF-N144MGM
SEF-N145MGM
SEF-N146MGM
ー
SEC-N172R
SEC-N174R
SEC-N175R
SEC-N176R
SEC-N177R
SEF-N172R
SEF-N174R
SEF-N175R
SEF-N176R
SEF-N177R
SEC-N142MGR
SEC-N144MGR
SEC-N145MGR
SEC-N146MGR
ーSEF-N142MGR
SEF-N144MGR
SEF-N145MGR
SEF-N146MGR
ー
09 : 100SLM
100~300kPa(d)
10 : 200SLM 300/500/1000SLM
200~300kPa(d)
非通電時 閉(クローズ):C / 開(オープン):Oフルスケールの2%未満フルスケールの2~100%
±1.0%S.P.(設定流量>35%F.S.)±0.35%F.S.(設定流量≦35%F.S.)
1秒以内:全流量制御範囲フルスケールの±0.5%
フルスケールの±0.2%
300kPa(d)以下
450kPa(g)
非通電時 閉(クローズ)フルスケールの5%未満フルスケールの5~100%
±2%F.S.
2秒以内(T98)Typical
フルスケールの1%
フルスケールの1%
150~300kPa(d)(300/500 SLM) ※5
250~350kPa(d)(1000 SLM)
350kPa(d)以下
350kPa(g)
フルスケールの0~100%
5~50℃(推奨温度15~45℃)
1000kPa(g)
自由
5×10-12Pa・m3/s (He)以下 1×10-10Pa・m3/s (He)以下 5×10-12Pa・m3/s (He)以下 1×10-10Pa・m3/s (He)以下
SUS316LSUS316Lフッ素ゴム SUS316L
SUS316Lフッ素ゴム
プロフィバス™通信・アナログ通信モデル SEC-N106マスフローコントローラ型式マスフローメータ型式流量設定信号流量出力信号デジタルインターフェイス
駆動電源
SEC-N116MGM
SEF-N116MGM
SEC-N116MGR
SEF-N116MGR
SEC-N126MGM
SEF-N126MGM
SEC-N126MGR
SEF-N126MGRSEC-N136MGM
SEF-N136MGM
SEC-N136MGR
SEF-N136MGR
SEC-N146MGM
SEF-N146MGM
SEC-N176R
SEF-N176R
SEC-N146MGR
SEF-N146MGR
0.1~5VDC/0.2~10VDC/4.32~20mA(2%~フルスケール)
0~5VDC/0~10VDC/4~20mA(0%~フルスケール)プロフィバス™-DP Protocol
24VDC(13~32VDC)
7.5VA 4.5VA 7.5VA
1/2" VCR相当、1/2" Swagelok相当
1×10-7Pa・m3/s (He)以下
1/2" VCR相当、3/8" Swagelok相当 ※4
EtherCAT®通信モデル SEC-N107マスフローコントローラ型式マスフローメータ型式デジタルインターフェイス
駆動電源
SEC-N117MGM
SEF-N117MGM
SEC-N117MGR
SEF-N117MGR
SEC-N127MGM
SEF-N127MGM
SEC-N127MGR
SEF-N127MGR
SEC-N177R
SEF-N177R
EtherCAT® Protocol
24VDC±4V
7.5VA 7.2VA
SUS316 / SUS304 PTFE磁性ステンレス ※2 フッ素ゴム
マスフローコントローラ型式
マスフローメータ型式
フルスケール流量(N2換算流量)
マルチレンジ・マルチガス(MR.MG)の番号で流量レンジを分けています。(SEC(F)-N17×Rモデルは除く)
外部リークレート
接ガス部材質
標準継手取付可能姿勢
4
製品仕様一覧
❶
❷
❸
❹
型式SEC-N1 : マスフローコントローラSEF-N1 : マスフローメータ
流量サイズ1 : 最大フルスケール流量 10 SLM(N2換算)2 : 最大フルスケール流量 50 SLM(N2換算)3 : 最大フルスケール流量 100 SLM(N2換算)4 : 最大フルスケール流量 200 SLM(N2換算)7 : 最大フルスケール流量 300 / 500 / 1000 SLM(N2換算)
通信形態2 : デジタル通信(RS-485 F-Net Protocol)、 アナログ通信(電圧信号)4 : DeviceNet™通信5 : CC-Link®通信6 : プロフィバス™通信、アナログ通信(電圧/電流信号)7 : EtherCAT®通信
シール材M : メタルシール(SEC-N17×は未対応)R : ラバーシール
❺
❻
❼
❽
❾
幅寸法ブランク : 1.125inch
バルブタイプブランク: マスフローメータ(SEF)の場合C : 非通電時 閉(クローズ)O : 非通電時 開(オープン): SEC-N13×、SEC-N14×に対応
コネクタ位置T : ケース上面(SEC-N102、SEC-N104、SEC-N105、SEC-N106に対応)S : ケース側面(ガス入口側)(SEC-N104、SEC-N107に対応)
検量線数1 : 標準5 : EtherCAT®モデル
DeviceNet™ 出力範囲 ブランク : DeviceNet™モデル以外 1 : 流量出力フルスケール"100%F.S." 3 : 流量出力フルスケール"133%F.S." 5 : 流量出力フルスケール"133.329%F.S."
10
11
12
13
CC-Link®通信・プロフィバス™通信:電圧/電流信号選択ブランク : SEC-N102、SEC-N104、SEC-N107 A : 設定 / 出力信号:0~5VDC B : 設定 / 出力信号:0~10VDC C : 設定 / 出力信号:4~20mA
マルチレンジ・マルチガス(MR.MG)の番号MR.MGの番号を指定してください。詳細は仕様一覧をご確認ください。
フルスケール流量フルスケール流量を指定してください。
配管継手4CR : 1/4" VCR相当(SEC-N11×、SEC-N12×に対応)8CR : 1/2" VCR相当(SEC-N13×、SEC-N14×、SEC-N17×に対応)4IS : 1/4" Swagelok相当(SEC-N100Rに対応)6IS : 3/8" Swagelok相当(SEC-N100Rに対応)8IS : 1/2" Swagelok相当(SEC-N17×に対応)
14
15
●
使用ガス種ブランク : MR.MG対応でガス種を指定しない場合ex.N2 : 使用ガス
内面研磨処理仕様をご要望のお客様はSEC-Z500X Seriesをご検討ください。
面間距離L : 124mm (1/4" VCR相当:SEC-N11×、SEC-N12×に対応)S : 132mm (1/2" VCR相当:SEC-N13×、SEC-N14×に対応,
1/4" Swagelok相当:SEC-N11×R、SEC-N12×Rに対応)J : 150.4mm (1/2" VCR相当:SEC-N13×、SEC-N14×に対応,
3/8" Swagelok相当:SEC-N13×R、SEC-N14×Rに対応)G : 177mm (1/2" VCR相当:SEC-N13×、SEC-N14×に対応)H : 179mm (3/8" Swagelok相当:SEC-N13×R、SEC-N14×Rに対応)I : 203mm (1/2" VCR相当:SEC-N17×Rに対応)R : 209.4mm (1/2" Swagelok相当:SEC-N17×Rに対応)P : 159mm (1/2" VCR相当:SEF-N17×Rに対応)C : 165.5mm (1/2" Swagelok相当:SEF-N17×Rに対応)
▶型式・仕様選定表
❶(例)SEC-N1
型式決定覧 仕様決定覧
1 2
MG※
MG
※SEC(F)-N17×はブランクになります。
M - T
❽1 - MR
MR
MG-04 1SLM 4CR B N2
❷ ❸ ❹ ❺ ❻ ❼ ❾ 11※10※ 12 13 14 15C -
R01
R1.5
01
1.5
02
2.5
03
3.5
04
4.5
05
5.5
06
3-10
8-30
25-100
75-300
250-1000
750-3000
2500-10000
4-11
11-35
35-110
110-350
350-1100
1100-3500
3500-11000
3-10
8-30
25-100
75-300
250-1000
750-3000
2500-10000
4-12
10-38
33-120
99-380
330-1300
1100-4100
3900-13000
3-8
7-25
21-83
64-250
210-830
610-2400
2000-8000
2-7
6-22
19-75
57-220
190-750
590-2300
2000-7800
N2 Ar H2 He CO2 CH4ガス種
MR.MG番号
▶マルチガス・マルチレンジ フルスケール流量の一例
SEC-N112(W)、SEC-N114(W)、SEC-N115、SEC-N116、SEC-N117
● 上記ガス種以外もご利用いただけます。お問い合わせください。 単位 : SCCM
SEC-N100
5
6.5
07
08
09
10
10000-30000
30000-50000
50000-100000
100000-200000
10000-30000
30000-50000
50000-95000
95000-176000
10000-30000
30000-50000
50000-100000
100000-200000
12000-30000
30000-50000
50000-108000
108000-200000
7300-21000
21000-35000
35000-75000
75000-158000
5800-22000
22000-38000
38000-76000
76000-152000
N2 Ar H2 He CO2 CH4ガス種
MR.MG番号
SEC-N122(W)、SEC-N124(W)、SEC-N125、SEC-N126、SEC-N127
SEC-N132、SEC-N134、SEC-N135、SEC-N136
SEC-N1142、SEC-N144、SEC-N145、SEC-N146
● 上記ガス種以外もご利用いただけます。お問い合わせください。 単位 : SCCM
❾
10
❺
❻
❼
❽
幅寸法W : 1.5inch
バルブタイプブランク : マスフローメータ(SEF)の場合 C : 非通電時 閉(クローズ) O : 非通電時 開(オープン): SEC-N13×、SEC-N14×に対応
コネクタ位置T : コネクタ位置 ケース上面(SEC-N102W、SEC-N104Wに対応)S : コネクタ位置 ケース側面(ガス入口側)(SEC-N104Wに対応)
DeviceNet™ 出力範囲 ブランク : DeviceNet™モデル以外 1 : 流量出力フルスケール"100%F.S." 3 : 流量出力フルスケール"133%F.S." 5 : 流量出力フルスケール"133.329%F.S."
❶
❷
❸
❹
型式SEC-N1 : マスフローコントローラSEF-N1 : マスフローメータ
流量サイズ1 : 最大フルスケール流量 10 SLM(N2換算)2 : 最大フルスケール流量 50 SLM(N2換算)
通信形態2 : デジタル通信(RS-485 / F-Net Protocol)、 アナログ通信(電圧信号)4 : DeviceNet™通信
シール材M : メタルシールR : ラバーシール
マルチレンジ・マルチガス(MR.MG)の番号 MR.MGの番号を指定してください。詳細は仕様一覧をご確認ください。
フルスケール流量フルスケール流量を指定してください。
11
12
13
●
配管継手4CR : 1/4" VCR相当(SEC-N11×、SEC-N12×に対応)4IS : 1/4" Swagelok相当(SEC-N100RWに対応)
面間距離B : 106mm (1/4" VCR相当:SEC-N11×W、SEC-N12×Wに対応)M : 127mm (1/4" Swagelok相当:SEC-N11×RW、SEC-N12×RWに対応)
使用ガス種ブランク : MR.MG対応でガス種を指定しない場合ex.N2 : 使用ガス内面研磨処理仕様をご要望のお客様はSEC-Z500X Seriesをご検討ください。
▶型式・仕様選定表
❶(例)SEC-N1
型式決定覧 仕様決定覧
1 2
MG
MG M - T
1
1 - MR
MR
MG-04 1SLM 4CR B N2
❷ ❸ ❹W
W ❺ ❻ ❼ ❽ ❾ 10 11 12 13C
SEC-N100W
6
多機能制御ユニット:PE-S7による使用例
流量・積算出力
プログラム制御
流量・積算アラーム(上限・下限)
外部制御モード・流量設定・バルブ全開・全閉信号 他
信号ケーブル SC-EDH Series
PE-S7
SEC-
N100
▶DeviceNet™通信
DeviceNet™通信とはオープン&グ ローバルなフィールドネットワークです。DeviceNet™通信の世界的な普及を支援する独立機関として、ODVA(Open
DeviceNet™ Vendors Association, Inc.)が編成されています。ODVAより仕様書EDS(Electronic Data Sheet)が提供され、マルチベンダ環境でのプログラムや操作性の共通化を計っています。またODVAによる認証試験が実施され、ODVA Conformance Testingに合格したデバイスには ロゴの使用が許可されています。
▶デジタル通信PC
通信変換器電源
(PE Series)
SEC-
N100
SEC-
N100
SEC-
N100
SEC-
N100
SEC-
N100
SEC-
N100
デイジーチェーン接続
▶アナログ通信外部電源・制御信号による使用例信号ケーブル SC-EAH Series
流量設定信号
流量出力信号
バルブ電圧モニタ出力バルブ制御信号:全閉/全開
駆動電源:±15VDCSEC-
N100
接続例
▶CC-Link®通信
CC-Link®通信とは制御と情報を同時に扱えるオープンな高速フィールドネットワークです。最大10Mbpsという圧倒的な高速応答性を実現し、通信の定時性が確保されていることが大きな特長です。実際のCC-Link®システムのリンクスキャンタイムは、計算値とほぼ同等のため、高速応答を必要とするセンサ入力や大容量のデータ通信を必要とするインテリジェント機器との通信に柔軟に対応します。CC-Link®協会は、日本を拠点に、アジアをはじめとする世界の6地域に活動拠点を開設しており、産業用ネットワークCC-Link®のさらなるオープン化を世界に先駆けて推進しています。
PLC
SEC-
N100
SEC-
N100
SEC-
N100
SEC-
N100
駆動電源
RS485デジタル通信コネクタピンNo.12345678
信号名称デジタル信号 コモンデジタル信号 コモンN.C.シリアル出力 (-)シリアル出力 (+)N.C.N.C.N.C.
使用コネクタ:RJ45コネクタ
型式SEC-N102
流量設定信号0.1~5VDC0.1~5VDC0.2~10VDC4.32~20mA
流量出力信号0~5VDC0~5VDC0~10VDC4~20mA
SEC-N105, SEC-N106 アナログ用コネクタ
※1 マスフローメータではN.C.となります。※ 流量設定信号入の力インピーダンスについて 0~5VDC、0~10VDC:1MΩ、4~20mA:250Ω 流量出力信号の負荷抵抗について 0~5VDC:最小負荷抵抗2kΩ、 0~10VDC:最小負荷抵抗5kΩ /4~20mA:最大負荷抵抗250Ω※2 電源回路と入出力回路は絶縁されています。
ピンNo.123456789
信号名称
使用コネクタ:D-Subminiature 9コンタクトピンコネクタ(#4-40 UNC インチネジタイプ)
SEC-N102(W) アナログ用コネクタ
※1 マスフローメータではN.C.となります。※2 バルブ駆動電流によるコモン電圧変動を防ぐため、Pin No.4の電源コモンとPin No.7のシグ
ナルコモンは、供給電源のGND側で接続されている必要があります。MFC内部では接続されていませんので、必ず別々に配線し、供給電源側で共通となる様に接続して下さい。Pin No.7とPin No.8のシグナルコモンは、MFC内部で接続されています。
ピンNo.123456789
信号名称バルブ強制開閉信号 ※1流量出力信号 0~5V DC(最小負荷抵抗は2kΩ)電 源 +15V DC電 源 コモン ※2電 源 -15V DC流量設定信号 0~5V DC(入力インピーダンスは1MΩ以上) ※1信 号 コモン ※2信 号 コモン ※2バルブ電圧モニタ ※1
使用コネクタ:D-Subminiature 9コンタクトピンコネクタ(M3かん合ネジタイプ)
バルブ強制開閉信号 ※1流量出力信号電 源 (13~32VDC) ※2信 号 コモン電 源 コモン(0VDC) ※2流量設定信号 ※1流量出力信号 コモン流量設定信号 コモンバルブ電圧モニタ ※1
PLC
PLC バスライン +24V
マスタ
バスライン
DeviceNet™ ケーブル
SEC-
N100
SEC-
N100
SEC-
N100
(信号ケーブル SC-EAH Series はSEC-N102(W)に対応) (信号ケーブル SC-EDH Series はSEC-N102(W)に対応)
電源供給コネクタピンNo.123456789
信号名称N.C.N.C.電源 +24VDC(13~32VDC)N.C.電源リターン 0VDCN.C.N.C.N.C.N.C.
使用コネクタ:D-Subminiature 9pin Maleタイプ(#4-40 UNC インチネジタイプ)
CC-Link®通信コネクタ
MFC本体使用コネクタ:DMC, 5/5-G1F3, 5-LR P20THR5局数×2段タイプ
MFC Flow Direction
DA
DB
DG
SL
D
FQ
SEC-N105SEC-N106
RS-485通信ケーブル SC-EBR
電源
N.C. : ノンコネクション (何も接続しないでください。)
7
A C D H I G
B E JF
Q RL SO M
T UPNK
PROFIBUS™通信とはオープンなフィールドバスです。国際規格IEC61158に認定され、その仕様目的に応じて最適な使い分けができるように、ファクトリー・オートメーション用としてPROFIBUS™ DP、プロセス・オートメーション用としてPROFIBUS™ PAの2種類のバスでファミリーを構成されています。世界的な普及を支援するプロフィバス™協会が組織されています。
SEC-N102(W) SEC-N104(W)
SEC-N106
A
B
C
D
E
RS-485通信。デイジーチェーン接続が可能。
駆動電源の供給。アナログ通信用コネクタ
ゼロ点補正用スイッチ
0×01~0×99の範囲で設定可能。(但し、0×△A~△Fは設定不可)
アナログ通信時:緑点灯
デジタル通信時:緑点滅
※アラーム時、ゼロ点補正異常時は、赤色になります。
Flow Flow
Flow
記号 名 称 説 明
F
G
H
I
J
DeviceNet™通信用。シールド型マイクロコネクタ。
通信速度を設定。
ゼロ点補正用スイッチ。
00~63の範囲で設定可能。
N E T:ネットワークの状態を表します。
MOD:ノードの状態を表します。
PROFIBUS™通信用。
ゼロ点補正用スイッチ。
0×01~0×7Dの範囲で設定可能
N E T:ネットワークの状態を示します。
MOD:ノードの状態を表します。
駆動電源の供給。アナログ通信用コネクタ
DeviceNet™コネクタ
通信速度設定スイッチ
ZEROアジャストスイッチ
Address 設定スイッチ
インジケータLED
記号 名 称 説 明デジタル通信コネクタ
アナログコネクタ
ZEROアジャストスイッチ
Address 設定スイッチ
インジケータLED
▶デジタル・アナログ通信モデル
SEC-N105
K
L
M
N
O
P
CC-Link®通信用。
ゼロ点補正用スイッチ。
1~64の範囲で設定可能
CC-Link®の通信状態を表します
0~4の範囲で設定可能
駆動電源の供給。アナログ通信用コネクタ。
Flow
記号 名 称 説 明
CC-Link®コネクタ
ZEROアジャストスイッチ
局番設定用ロータリースイッチ
通信ステータス用LED
通信速度設定用ロータリースイッチ
電源・アナログ通信用コネクタ
▶CC-Link®通信モデル
▶DeviceNet™通信モデル
▶プロフィバス™通信・アナログ通信モデル
sPROFIBSTM通信PLC
SEC-
N100
SEC-
N100
SEC-
N100
SEC-
N100
駆動電源
記号Q
R
S
T
U
名 称
PROFIBUS™コネクタ
ZEROアジャストスイッチ
Address 設定スイッチ
インジケータLED
アナログコネクタ
説 明
プロフィバス™通信コネクタピンNo.123456789
信号名称N.C.N.C.RXD/TXD-PCNTR-PデジタルグランドV.P.N.C.RXD/TXD-NN.C.
使用コネクタ:D-Subminiature 9コンタクトソケットコネクタ(#4-40 UNC インチネジタイプ)
電源供給コネクタピンNo.123456789
信号名称N.C.N.C.電源 +24VDC(13~32VDC)N.C.電源リターン 0VDCN.C.N.C.N.C.N.C.
使用コネクタ:D-Subminiature 9pin Maleタイプ(#4-40 UNC インチネジタイプ)
sEtherCAT 通信
8
電源コネクタ
EtherCATⓇ通信とは特長イーサネットベースのオープンなフィールドバスシステムです。EtherCATⓇのサポートと
普及を推進し、相互互換性を保つための国際フォーラムとしてETG (EtherCATⓇ
Technology Group) が設立されています。ETGはEtherCATⓇの機能的要件やコンフォーマンステストおよびその認証手順を規定しており、ETGの定める条件を満たしたデバイスのみが ロゴの使用を許可されます。
・多数のデバイスに対して同時に通信を行うことで、高バス効率 で高速なデータスキャンを実現します。・マスターはデバイスへの接続に際して標準的なイーサネット インターフェイスを使用でき、高価な専用ハードウェアを必要 としません。
12345
V+N.C.
Power CommonN.C.N.C.
EtherCAT Ⓡマスタ
SEC-
N100
SEC-
N100
SEC-
N100
SEC-
N100
SEC-
N100駆動電源:+24VDC 使用コネクタ:M8 5pin オスコネクタ
※EtherCATⓇ Technology Group 規格:ETG5003.2020に適合 するものをご使用ください。
○R
1
432
5電源
信号名称ピンNo.
型 式 固定ネジ位置H T WI
D1/4" VCR type 1/2" VCR type
SEC(F)-N112
SEC(F)-N122
SEC(F)-N112W
SEC(F)-N122W
SEC(F)-N132
SEC(F)-N142
SEC(F)-N114
SEC(F)-N124
SEC(F)-N114W
SEC(F)-N124W
SEC(F)-N134
SEC(F)-N144
SEC(F)-N115
SEC(F)-N125
SEC(F)-N135
SEC(F)-N145
SEC(F)-N116
SEC(F)-N126
SEC(F)-N136
SEC(F)-N146
SEC(F)-N117
SEC(F)-N127
SEC-N172R
SEC-N174R
SEC-N175R
SEC-N176R
SEC-N177R
SEF-N172R
SEF-N174R
SEF-N175R
SEF-N176R
SEF-N177R
126±1
126±1
139±1
126±1
126±1
150±1
132±1
139±1
132±1
139±1
30.5±0.5
38±0.5
38.3±0.5
30.5±0.5
38±0.5
38.3±0.5
30.5±0.5
38.3±0.5
30.5±0.5
38.3±0.5
81.8
63.8
70.4(1/2" VCR type)94.4(3/8" SWL type)
81.8
63.8
70.4(1/2" VCR type)94.4(3/8" SWL type)
81.8
70.4(1/2" VCR type)94.4(3/8" SWL type)
81.8
70.4(1/2" VCR type)94.4(3/8" SWL type)
12.7
12.7
18.5(1/2" VCR type)22(3/8" SWL type)
12.7
12.7
18.5(1/2" VCR type)22(3/8" SWL type)
12.7
18.5(1/2" VCR type)22(3/8" SWL type)
12.7
18.5(1/2" VCR type)22(3/8" SWL type)
124±1(4CRL)
106±1
124±1(4CRL)
106±1
124±1(4CRL)
―
124±1(4CRL)
―
3/8" SWL type 1/2"SWL type
―
―
150.4(6ISJ)
179(6ISH)
―
―
150.4(6ISJ)
179(6ISH)
―
150.4(6ISJ)
179(6ISH)
―
150.4(6ISJ)
179(6ISH)
1/4" SWL type
132
127
―
132
127
―
132
―
132
―
上図Ⓐをご参照ください。
上図Ⓑをご参照ください。
上図Ⓒをご参照ください。
上図Ⓓをご参照ください。
上図Ⓕをご参照ください。
上図Ⓐをご参照ください。
上図Ⓑをご参照ください。
上図Ⓒをご参照ください。
上図Ⓓをご参照ください。
上図Ⓕをご参照ください。
上図Ⓐをご参照ください。
上図Ⓔをご参照ください。
上図Ⓓをご参照ください。
上図Ⓕをご参照ください。
上図Ⓐをご参照ください。
上図Ⓓをご参照ください。
上図Ⓕをご参照ください。
(単位:mm)
132(8CRS) 150.4(8CRJ)177(8CRG)
132(8CRS) 150.4(8CRJ)177(8CRG)
―
132(8CRS) 150.4(8CRJ)177(8CRG)
132(8CRS) 150.4(8CRJ)177(8CRG)
171±1
177±1
30.5±0.5132±1
75
81.8
128±2
124±1(4CRL)
203±2(8CRI)
203±2(8CRI)
209.4(8ISR)
209.4(8ISR)
37.5
12.7
上図Ⓖをご参照ください。
上図Ⓐをご参照ください。
75
75
180±1 128±2 37.5 上図Ⓖをご参照ください。
159±2(8CRP) 165.6(8ISC)75180±1 84±2 37.5 上図Ⓗをご参照ください。
171±1
177±1
84±2 159±2(8CRP) 165.6(8ISC) 37.5 上図Ⓗをご参照ください。
W T
I
D
H
15±0.1
21.920±0.1
15±0.1
21.920±0.1
2-M4 4DEPTH
2-M4 4DEPTH
Ⓑ
Ⓐ
Ⓒ
Ⓔ
Ⓕ
30.35
2-M4 5DEPTH
P.C.D.36±0.1
45°
Ⓓ
Ⓗ
15±0.1
27.820±0.1
2-M4 4DEPTH
49.05
2-M4 5DEPTH
P.C.D.36±0.1
45°
15±0.1
21.920±0.1
2-M4 4DEPTH
20
20
Ⓖ
8.78.7 66.8±18.7
4-M6 10DEPTH
4-M6 10DEPTH
110.6±18.7
▶外形寸法
接続例
記号 名 称 説 明
SEC-N107
9
▶EtherCATⓇ通信モデル駆動電源の供給コネクタ。
サービス用の通信ポート。
0x0000~0x0FFF の範囲で設定可能。
※このIDをEtherCATⓇ通信で使用する場合は所定の初期設定を行う必要が あります。設定方法が不明な場合はお問い合わせください。
ゼロ点補正用スイッチ。
EtherCATⓇ通信用。IN側の接続。
EtherCATⓇ通信用。OUT側の接続。
MFCの状態を表します。
正常: 緑点灯
異常: 異常要因により赤点灯もしくは赤緑点滅
ECAT ERR: EtherCATⓇ通信のエラー状態を示します。
POWER: 電源供給時に緑点灯します。LA: 各ポートのリンク・アクティブ状態を示します。RUN: EtherCATⓇステートマシンの状態を示します。Flow
a
b
c
d
e
f
g
h
電源コネクタDIAG 通信 ポート
EtherCATⓇIDセレクタ
ZEROアジャストスイッチ
EtherCATⓇINポートEtherCATⓇOUTポート
MFC インジケータLED
EtherCATⓇ
インジケータLEDhg
a b de f
c
▶デジタルマスフローコントローラの構造と動作原理デジタルマスフローコントローラ:SEC-N100 Seriesの主な構造は右図の通りです。流量計測部:センサ・バイパス、流量制御バルブ、回路部から成り立っています。回路部へのCPU搭載により、高性能化・多機能化を実現しています。ガスはInlet継手部より導入され、流量センサとバイパスに分流されます。センサによりガスの質量流量を計測し、外部より与えられる流量設定信号と計測した流量の変位がゼロと成るように流量制御バルブが流量を制御します。ループ回路を採用し、導入ガスの供給圧力や二次側圧力変化や周囲温度変化等が生じた場合でも瞬時に流量補正を行い安定した流量制御が行えます。
内部構造
流量センサ流量制御バルブ
流量出力信号
駆動電源
流量設定信号
Inlet Outlet
A/Dconverter
D/A・A/Dconverter
Valve drivercircuit
Driver/Receiver
バイパス
CPU
関連製品
PE-S7多機能制御ユニット
■主な仕様
プログラム設定機能、プリセット機能に加え積算機能を付帯し、RoHS指令に対応した多機能制御ユニットです。前面パネルからの操作が行え、操作性が向上しました。
●マルチレンジ機能搭載 ●流量設定機能/プリセット6点 ●プログラム制御機能 ●流量表示機能:SET/OUTを同時に表示可能 ●瞬時・積算流量アラーム出力機能 外部出力:オープンコレクタ ●ソフトスタート機能搭載 ソフトスタート:60秒以下の設定 スロースタート:1200秒以下の設定 ●流量信号出力:0~5VDC ●外部制御機能 流量設定信号入力 流量制御バルブ制御信号入力:全開・全閉 ●電源入力:AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX ●寸法:48(W)×192(H)×190(D)mm(突起部除く) ●適応規格 安全規格・CEマーキング対応、EMC指令対応、FCC対応、電気用品安全法(PSE法)対応 環境対応:RoHS指令対応 ●デジタル/アナログ通信モデルに対応
▶スタンダードモデル PE-20 Series
▶上下限流量アラーム搭載モデル PE-30A Series
● 上下限流量アラームを各々の駆動機器に対して設定可能です。アラーム設定は本体搭載のボリュームにて行います。
● デジタル/アナログ通信機器に対応。
▶電流制御モデル PE-30 Series
● 電流制御:4~20mAが可能で、アナログ信号による長距離制御が可能です。● 上下限流量アラームを各々の駆動機器に対して設定可能です。アラーム設定は本体搭載のボリュームにて行います。
● デジタル/アナログ通信機器に対応。
デジタル/アナログ通信機器に対応。
電源入力:AC100~240V 50/60Hz
1台駆動 PE-21 (30VA MAX)4台駆動 PE-24 (90VA MAX)6台駆動 PE-26 (140VA MAX)
電源入力:AC100~240V 50/60Hz
1台駆動 PE-31A (30VA MAX)4台駆動 PE-34A (90VA MAX)6台駆動 PE-36A (140VA MAX)
電源入力:AC100~240V 50/60Hz
1台駆動 PE-31S (30VA MAX)4台駆動 PE-34S (90VA MAX)
PE Series専用電源
マスフローコントローラ・マスフローメータやオートプレッシャーレギュレータの駆動電源及びアナログ制御時の設定基準電圧:5VDCを供給します。また電流制御(4~20mA)対応モデル、流量アラーム出力搭載モデルや複数台(4/6台)駆動出来るモデルをラインアップしています。全モデルに対して、安全規格:CEマーキング、EMC指令、FCC、電気用品安全法(PSE法)及び環境対応:RoHS指令に対応しています。
10
SEC-N100 Seriesでは、製品の仕様(3、4ページ)の記載内容に変更が生じることがなく、生産性向上のために使用部品・生産手法などの変更をお客様へ通知せずに随時行っています。あらかじめご了解ください。
カタログNo. SN-KJ
●このカタログの記載内容については、改良のために仕様・外観等、予告なく変更することがあります。●このカタログの製品詳細については別途ご相談ください。●このカタログと実際の商品の色とは、印刷の関係で多少異なる場合もあります。●このカタログに記載されている内容の一部または全部を無断転載することは禁止されています。●このカタログに記載されている製品は日本国内仕様です。海外仕様については別途ご相談ください。●このカタログで使用されている製品画面は、はめ込み合成です。●このカタログに記載されている各社の社名、製品名およびサービス名は、各社の商標または登録商標です。●希望販売価格は参考価格です。詳しくは代理店、販売店にお尋ねください。●製品を輸出される際には、製品の保証条件についてあらかじめご相談ください。●DeviceNet は Open DeviceNet Vendors Association, Inc の登録商標です。●EtherCAT は Beckhoff Automation GmbH, Germany の登録商標です。
〒601-8116 京都市南区上鳥羽鉾立町11-5(075)693-2312http://www.horiba-stec.jp e-mail:sales.stec@horiba.com
東京セールスオフィス 〒101-0063 東京都千代田区神田淡路町2-6(神田淡路町二丁目ビル)東北セールスオフィス 〒981-3133 宮城県仙台市泉区泉中央四丁目21-8山梨セールスオフィス 〒400-0031 山梨県甲府市丸の内二丁目14-13(ダイタビル3F)名古屋セールスオフィス 〒461-0004 名古屋市東区葵3-15-31(千種第2ビル6F)九州中央セールスオフィス 〒861-2401 熊本県阿蘇郡西原村大字鳥子字講米畑358-11鳥子工業団地
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HORIBAグループでは、品質ISO9001•環境ISO14001•労働安全衛生OHSAS18001を統合したマネジメントシステム(IMS:JQA-IG001)を運用しています。さらに事業継続マネジメントISO22301を加え、有事の際にも安定した製品•サービスを提供できるシステムに進化しました。