University of Huddersfield Repositoryeprints.hud.ac.uk/18210/8/SFS_Book_presentations_final1.pdf ·...

Post on 24-Aug-2020

0 views 0 download

transcript

University of Huddersfield Repository

Blunt, Liam, Robbins, David, Leach, Richard, Fleming, Leigh and Elrawemi, Mohamed

Surface defects in water vapour barrier layers for structured plastic electronics

Original Citation

Blunt, Liam, Robbins, David, Leach, Richard, Fleming, Leigh and Elrawemi, Mohamed (2012) Surface defects in water vapour barrier layers for structured plastic electronics. In: Tropical Meeting Structured & Freeform Surfaces, 5th­6th December 2012, National Physical Laboratory, Teddington, UK. 

This version is available at http://eprints.hud.ac.uk/id/eprint/18210/

The University Repository is a digital collection of the research output of theUniversity, available on Open Access. Copyright and Moral Rights for the itemson this site are retained by the individual author and/or other copyright owners.Users may access full items free of charge; copies of full text items generallycan be reproduced, displayed or performed and given to third parties in anyformat or medium for personal research or study, educational or not­for­profitpurposes without prior permission or charge, provided:

• The authors, title and full bibliographic details is credited in any copy;• A hyperlink and/or URL is included for the original metadata page; and• The content is not changed in any way.

For more information, including our policy and submission procedure, pleasecontact the Repository Team at: E.mailbox@hud.ac.uk.

http://eprints.hud.ac.uk/

� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " " � # ! " $ % & ' � ( � ) * � � + � � � � � � � � , ! - " . - $/ 0 1 2 3 4 5 6 5 2 5 4 7 8 9 : ; 3 7 5 1 < 3 = > 0 1 ? 3 1 1 9 5 1@ 3 A 5 1 8 2 > 1 8 7 1 0 4 7 0 1 5 6 = @ 3 8 7 9 4 5 @ 5 4 7 1 > : 9 4 8B C D E F G H I J K L M D N C O P Q R R C I S K K L P C T U D V O B W D T U X L B W C Y U Z G W E C I Y K D I O [ Q U D E W O \ G ] W V C K^ _ ` a b c d e a f g h i j k l l c d e i a c m l n o p q n ^ ^ r c ` f d c i h d p d h s c e e t ` ` h b u f a h ` n v c l w c i a c m l _ xy z { | } ~ � � � � � | � � � � � � � } � � � � � ~ � � � � � � � z � � � � � � ~ } � �� � � � � � � � � � � � � � � �� � � � � � �   ¡ ¢ £ ¡ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " " � # ! " $ % & ' � ( � ) * � � + � � � � � � � � , ! - " . - $

¤ ¥ ¦ § ¨ © ª « ¬ ¦ ª ­ © ® § ¦ ¯ ° ± ¦ § ² ¦ ª ­ ­ ©³ ´ µ ± ¶ · ¸ ¹ ¹ ´ ª « § º » ¼ © « » ¼ © ½ ¾ ´ ª « § ¿ © » À « § Á § ² ¼ © ½ ¾µ ª  © ¦ ¼ ª Á ½ ª « à ´ © ® ± ¦ § à ¥ »  ¼ § « ¿ © » À « § Á § ² ¼ © ½ Ä° Ä · Å ­ ¼ Á Á ¼ § « ¾ Æ Ç © ª ¦ Á § « ² ¨ ¦ § È © » ¹ Æ ¤ ¥ ¦ § ¨ © ª « ± ª ¦  « © ¦ ½� É � Ê Ë Ê �   Ê   � Ì � � � Ì   � Ì Í Î � Ì Ï   � � � É � Ï �   Ì � Ì � Ë � � Ì � Ï � Ë � � � � � �

� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " " � # ! " $ % & ' � ( � ) * � � + � � � � � � � � , ! - " . - $Ð © Ñ © » Â Ò ½ Ó ª ¦ ¦ ¼ © ¦ ¬ ¥ « »  ¼ § «Ó ª » ¯ Ô § «  ª »  µ ©  ¦ § Á § ² ÇÕ ¼ ² À  µ ª « ª ² © ­ © «  ¬ ¼ Á ­ ½Ö « ¨ ¦ § » © ½ ½ µ ©  ¦ § Á § ² ÇÔ § « » Á ¥ ½ ¼ § « ½¿ À © ± ¦ § È © » ± ¦ § È © » Â × ­ Ø ¼  ¼ § «× ¨ ¨ Á ¼ » ª  ¼ § « ½¬ Á © Ù ¼ Ø Á © ± ÚÓ ª ¦ ¦ ¼ © ¦ Õ ª Ç © ¦ µ ©  ¦ § Á § ² Ç

� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " " � # ! " $ % & ' � ( � ) * � � + � � � � � � � � , ! - " . - $

� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " " � # ! " $ % & ' � ( � ) * � � + � � � � � � � � , ! - " . - $Û Ü Ý Þ ß à á â ã ä å á å Ý æç è é ê ë ê ì è í î ê ï ð ñ è ì è ò ó ê ô î ð õ î õ ö ê õ ÷ ì êî è é ê î ê ï î õ ñ é ï è ö ö ê ï î ø ó ï ö è õ ñ é ñ õ ñ è ù ô ï õ ì ê é ê ú ê ï î ô ó ñû è ì ì î è û è ì ì í ö è é ü ï ê é ú ó ì ø ô ý þ ó î ð è ü î ô ì è þ ó ñ ò í ö è é ü ï î ó è ñô í ê ê é ÿ

� ñ è ö é ê ö î è ó ø í ö è ë ê í ö è é ü ï î í ê ö ú è ö ø õ ñ ï ê ý � ó ê ì é õ ñ éì ó ú ê î ó ø ê ÿ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " " � # ! " $ % & ' � ( � ) * � � + � � � � � � � � , ! - " . - $� � � � � � � � � � � � � � � �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �

� Î � � � � Î � Ì � Î Ë   � � � Í Î � Ì � É � Ï � � � Ê Ë � � Ë � � � �71

� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " " � # ! " $ % & ' � ( � ) * � � + � � � � � � � � , ! - " . - $� � � å � á � å � � Ü Ý Þ ß à á æ ß à ß � � � Ü �� ! " # ! $ % & ' ( " ) ( * + ) + # , - % , # ./ 0 " ' ) ! , " ( $ $ ( 1 + - & 2 ! ) ! " ( 3 - , 4 0 ' ) 5 # $ + 6 ! 7 $ + 3 , ) , 89 , $ ) ( ! ' & : ;< - , ) + ' ) ! 9 + ' , ( ) ! " = & 5 0 & + 4 ) , 2 + ( ) + - 3 - , , # # $ + 6 ! 7 $ +3 , ) , 8 9 , $ ) ( ! ' & > # , , 4 3 ( ' * ( = ! " = > 4 ! = ! ) ( $ 4 ! & 3 $ ( 1 &, ) + - ( 3 3 $ ! ' ( ) ! , " & : ; � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " " � # ! " $ % & ' � ( � ) * � � + � � � � � � � � , ! - " . - $

? + # + ' ) & 2 ! ) ! " ) + & + # ! $ % & - + 4 0 ' + ) + 1 ! + $ 4 > 3 + - # , - % ( " ' +( " 4 $ ! # + ) ! % + , # ) + 3 - , 4 0 ' ) & .Ó Ç ¦ © Ã ¥ » ¼ « ² Â À © ¼ ¦ ¦ © ½ ¼ ½ Â ª « » © Â § © « Ò ¼ ¦ § « ­ © « Â ª Á » § « Ã ¼ Â ¼ § « ½ ÄÓ Ç ¼ « » ¦ © ª ½ ¼ « ² Â À © ½ » ¦ ª ¨ ¦ ª Â ©@ + 4 0 ' ! " = ) + 3 - , 3 , - ) ! , " , # 4 + # + ' ) & 2 ! $ $ % ( * + ( - ( " = + , #3 - , 4 0 ' ) & % , - + ' , % 3 + ) ! ) ! 9 + ;� � � å � á � å � � Ü Ý Þ ß à á æ ß à ß � � � Ü �

� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " " � # ! " $ % & ' � ( � ) * � � + � � � � � � � � , ! - " . - $A ( " , B + " 4 / $ + 6 ! 7 $ + C , $ ( - B , 4 0 $ + & D 7 ( & ! ' $ ( 1 + - = - , 0 3 ! " = &

� Ë � � Ì É � � � � � � Ë Ê Ì Í Î Ë � � � � E F G H � I Î Ë J �   Ì � � � Ë Ê Ì Í Î Ë � � � � K � Ë     � �  Î Ë J �   ÌÎ � � É � � Ë � Ë � � � � � � Î Ë J �   Ì� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " " � # ! " $ % & ' � ( � ) * � � + � � � � � � � � , ! - " . - $

L ü ñ ï î ó è ñ õ ì ê ì ê ø ê ñ î ô è ú ú ì ê M ó ÷ ì ê í ð è î è ë è ì î õ ó ï ï ê ì ì ôÊ � Î J � �  

� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " " � # ! " $ % & ' � ( � ) * � � + � � � � � � � � , ! - " . - $L ü ñ ï î ó è ñ õ ì ê ì ê ø ê ñ î ô è ú ú ì ê M ó ÷ ì ê í ð è î è ë è ì î õ ó ï ï ê ì ì ôN Î O P Q Ê � Î J � �  R Ë     � �   Ï � Î �

� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " " � # ! " $ % & ' � ( � ) * � � + � � � � � � � � , ! - " . - $S � � � � � T � � � � � � � � � � U V � � � � W � � � � � X � � � X � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � U VX � � T � � � � � X � � � � � � � � � � � T � � � � �� � � � X � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � T � � �� � � � � � � � � Y � � X �Z � � X � � � � [ � � � � Y � � � � X � � � � � U V � � � � �� � X \ � � � � W � � � � � � ] ^ _ � � � � � � ] � \ ` a b c � X � � � d � � �� � � � � � � � � � � � X � � T W � � � � �

72

� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " " � # ! " $ % & ' � ( � ) * � � + � � � � � � � � , ! - " . - $e ê ú ê ï î ô f g í ó ñ ð è ì ê ô h õ ñ é í õ ö î ó ï ì ê ô ó ñ î ð ê i j eì õ � ê ö õ ö ê î ð è ü ò ð î î è ô ó ò ñ ó ú ó ï õ ñ î ì � õ ú ú ê ï î î ð ê ÷ õ ö ö ó ê öí ö è í ê ö î ó ê ôç ê ô î ô ü ÷ ô î ö õ î ê ô þ ê ö ê í ö è é ü ï ê é õ î k l � õ ñ éø ê õ ô ü ö ê é ü ô ó ñ ò õ m n k n o p õ î ê ö q õ í è ü öç ö õ ñ ô ø ó ô ô ó è ñ û õ î ê r p q ç û s î ê ô î ÿ

_ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � t V Z uv w x y z { w | } z x z w ~ � � � � � � } ~ z w x y � � � � � � � � � z �� w � | � y � � � � � � � � � � � �� w � | � y � � � � � � � � � � � �� w � | � y � � � � � � � � � � � �� w � | � y � � � � � � � � � � � �� Ë � �   � Ë Ê �   �   Ë � Ì � � Ì Ì � � �   Ë � � � � I � � � Ï �   � ¢ � � Ï � Î � Ë � Ì Ê � � � Ï � � � � � � � � � � � � Ì� � � E �   ¢ ¡ � ¢�   � � � É � Ë � � � � � Ë � Î � � � � Ë � � � � � Ì �   � � � � É Ë � Ì Ë � Ê Î � ¡ £ ¢ ¤ É Ë Ì � É � É � � É � Ì � � Ë Î Í � � Ï� I � � ¥

¦ § ¨ © ª « ¬ © ¨ ­ ® ª ¯ ª ¬ ª § ° ± ¦ § ¨ © ª « ¬ ± ² ¨ © © ¯ ª ¬ ª § ° ±³ ´ µ ¶ · ¸ ¹ º ¶ · » ¼ ½ · ¼ ´ ¾ ¶ º ¸ ¿ ¾ ½À Á   ¹ ¾ à ½ º ¸ ¿ à ¶ Ä ¶ · ¸ µ ¶ ¼ Ã

Å A = 5 8 > 2 6 5 2 5 4 7 8 ÆÇ È É Ê « © ª ±@ ( " = ! " = # - , % Ë ) , Ì� � Í � É � � Ì Ì � � � Î Í � � � � � � Ï � � � Ì Í ¢ ¥ Î � �

Peaks/particles

Å A = 5 8 > 2 6 5 2 5 4 7 8 Ï� � Í � É � � Ì Ì � � � Î Í � � � � � � Ï � � � Ì Í ¢ ¥ Î � �

Å A = 5 8 > 2 6 5 2 5 4 7 8Holes

Of about 60 µm lateral dimension

H Ð Ñ Ê � � � Í   �� � Í � É � � Ì Ì � � � Î Í � � � � � � Ï � � � Ì Í ¢ ¥ Î � �73

Ò Ó Ô Õ Ö × Ø Ù Ô × Ú Û Ü Ø Ý Ô Þ ß Ó Ö à Ü Ô Þ Ô á â Ô Ú ã ä × Ú á × å ã Ü Ø æ ß Ó Ô ç ä Ü Ø Û Ô Ö × è Ø æ æ ä × á ß é ê à ë Ô â Ô × ß Ó ì Ü Ö æ Ô í Ø Ü î ï Ü Ø å Ü Ö æð ì ï ñ ò ó ô ô ñ õ ó ô ö ÷ ø ù Õ ú ç û ü Ü Ö × ß ý å Ü Ô Ô æ Ô × ß Õ Ø þ ó ÿ ô � ÿ ö� � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � ! " � # $ � % & ' ' ! ( ) � ( � # * # � � + � , & * � ! ! + + � ' & # $ ! � - � # , � � � � . / 0& � ) 1 ! * * $ - ' � ) � ( � # ) � � * $ # 2 ! + # 2 1 � * 3 ! * * $ - ' �) � ( � # ! " � # � + *

4 5 6 7 8 9 : ; < = > ? 5 7 @ A B BCDE CE DF CF DG CG DHIJK LLM N O P Q O R Q S T U Q T V W W X O P O Y Z R Z P U

[ \ \ ] ^ _ ^ ` a b a _ c ` a ^ d e ^ f g a h ] b c i ` ` j kl m n o p q r s t u q v w x y q z t u q v w x y q { t u q v w x y q |l m n o p q { } ~ z { � { � | � z { ~ { � � � }l m n o p q { } ~ { z � { � z � � } { z � � } {l m n o p q { } ~ � ~ � � � � ~ � � � � ~ � � � �l m n o p q { } ~ � ~ � � � z � ~ � { z � ~ � �� � w s m � q � � l { � � � | � { z � | � ~ � ��� �� �� �� �� �� �� ����� ��� � � � � � � � � � � � �   ¡ ¡ ¢ � � � £ ¤ � ¤ � �

�� �� �� �� �� �� �� ����� ��� � � � � � � � � � � � �   ¡ ¡ ¢ � � � £ ¤ � ¤ � �¥ ¦ § ¨ © ª « ¦ © ¬ ª ­ © ¦ § « § ® © ¯ ª ° ­ § ® ° ± ­ ¦ § ² ª ³ « ± ´ µ ³ µ § ³ § ¨ ¨ ¶ § · ª ¶ § ¨ ¦ ° ¸ ­ ¸ § ® ¦ ² § ³ µ «© ­ ¦ § ³ ³ µ © ² ª ³ ¹ º » ¼ ½ ¾ ¿ À Á  ½ à ½ Ä ¿ ½ ¹ Å Æ Æ ÇÈ É Ê Ë Ì Í Î Ê Ï È É Ê Ë Ì Í Î Ê Ð

È É Ê Ë Ì Í Î Ê ÑÒ Ó Ô Õ Ó Ö Ó × Ø Õ Ù Ú Û Ö Û × Ù Ü Ú Û Õ Ü Ó Ù Ý Þ Ò ß à

�� �� �� �� �� �� �� �á ����� ��� â ã ä å ã æ å ç è é å è ê ë ì ë í æ é ê ë è é å æ î ï ð ì ê ñò ã ä ã ó ë æ ë ä é ô õ ö ÷ ø ù ø ú û ü û ù ý ú û ø þ ÿ ø � � û � ÷ ü ý � ú ú � �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � ! � " # � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � ��� �� �� �á �� � �� � �� � ����� ��� â ã ä å ã æ å ç è é å è ê ë ì ë í æ é ê ë è é å æ î ï ð $ % ñò ã ä ã ó ë æ ë ä é& ' ( ) ¹ ¦ © ­ « ª ³ * ° ¬ ² © § + « , ¦ © ­ « ª ³ * ° ¬ ¦ § ¨ © « Æ

�� �� �� �á �� � �� � � â ã ä å ã æ å ç è é å è ê ë ì ë í æ é ê ë è é å æ î ï ð ì ê ñò ã ä ã ó ë æ ë ä éÈ É Ê Ë Ì Í Î Ê Ï È É Ê Ë Ì Í Î Ê Ð

È É Ê Ë Ì Í Î Ê Ñ- . / 0 1 . 0 / 2 3 4 2 5 . 0 / 2 6 4 7 8 . 2 / 7 9 : ; < = > 8 ? @ / 0 9 7 9 :A B C DE F E G C G C HE I E HE J K KK D K L

M N M NO OP PQ Q RRN NS R S RS Q S QT U V W X U Y X Z [ \ [ ] ^ V _ U X Y X Z [ \ [ ]` a b c d e f g h d e c i j d k d f l d j j a j c m e f e n c a m j d e l d e j l b o b m b e n p c k e n n qm j b l b m e n r a b f l cs i f m l b a f c r n b l c o d e l i j d c b f l a o i f m l b a f e n n t c b u f b o b m e f l e f gb f c b u f b o b m e f l c d l cv w x y z { | } ~ � � � � ~ � � { � � � � � � � | � { � { ~ { � � � �

� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � �   ¡ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � ¢ � � � £ � � ¤ � � � � � � � � � ¥¦ § ¨ © ª « ¬ ¨ ­® ¯ ° ± ² ³ ´ ° µ ¶ · ¸ ¹ º » ¼ ½ ¾ ¿ ¹ À ¹ Á  à Á à ¸ Ä ¿ ¹ À¿ ¼ º » Å Ã Æ Ç È É ¼ À  ¿ ¼ º » Å Ã Æ Ç È Ê ËÌ ¹ ½ Ã Ä Í ¼ À É È È Å ¹ ¸ ¼ Ä ¾ ¹ À ¿ Î Ã ½ à ¾ À ¿ » à ¸ Ä Ã Â¼ Ä ¼ º ¼ Ï À ¾ Á ¾ ¸ ¼ Ä ¾ ¹ À ¹ Á Ð Æ È ¹ À Ä Í Ã Ñ Ñ Ò Á ¹ ½Ó ¹ Ä Í ¿ ¼ º » Å Ã ¿ ËÍ Ã ¾ Ï Í Ä Ô Î ¾ Â Ä Í Õ Ö É × º Ø Ù Ú Û Ü Û Ý Þ Ü Ý Ý ß à á Ü Ú â á ãä Þ å ß Ú ß â æ ç Ü â è Ü ß ã Ý ã Ú é ß ê ë ì í î ïð ñ ò ó ô õ ì ö ÷ ïì ø ù ð ú ð û ð ü ý ö ñ ú ì ïð ö þ ñ î ð ì ÿ öë ì í î ïð ñ ò ó � õ ì ö � ó ïì ø ù ð ú ð û ð ü ý ö � � ú ì ïð ö þ � î ð ì ÿ ö� Ú â á Ü Þ � � � � � é Ü Þ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � � � � � � � � ! � " � � � # � � � � " � � $� � � � � " � � � � � � � � � � % " � � � � � � � " � � & � � � � � � �� � � � � � ' � " ! $ � � � � � " � � � � � � � " � � �( ) * � � + � � � � � , � � � � � " � � � � � � � � � � � , # � � � � � � $ � � � � � � + � � � � � � � % " � �- � + � � � � , � � � , � � � " � � � � � � � � � � � � , " � � � � � � �. / 0 1 2 3 4 5 0 3 6 7 8 4 9 0 : ; / 2 < 8 0 : 0 = > 0 6 ? @ 3 6 = 3 A ? 8 4 B ; / 0 C @ 8 4 7 0 2 3 D 4 B B @ 3 = ; E F < G 0 > 0 3 ; / H 8 2 B 0 I 4 8 J K 8 4 A 8 2 BL H K M N O P P M Q O P R S T U 1 V C W X 8 2 3 ; Y A 8 0 0 B 0 3 ; 1 4 Z O [ P \ [ R

74

. / 0 1 2 3 4 5 0 3 6 7 8 4 9 0 : ; / 2 < 8 0 : 0 = > 0 6 ? @ 3 6 = 3 A ? 8 4 B ; / 0 C @ 8 4 7 0 2 3 D 4 B B @ 3 = ; E F < G 0 > 0 3 ; / H 8 2 B 0 I 4 8 J K 8 4 A 8 2 BL H K M N O P P M Q O P R S T U 1 V C W X 8 2 3 ; Y A 8 0 0 B 0 3 ; 1 4 Z O [ P \ [ R* � � � � � � � � � � ! � � , � � ] � ! � ^ � � � � � �_ ` � � � � � a b b c � d � � e � � �f Í Ã g h ¸ Ã Å Å Ó ¼ ¸ i ¸ ¹ À À à ¸ Ä ¾ ¿ º ¼  ÃÁ ½ ¹ º ¼ Å ¼ j à ½ ¹ Á Ì ¹ Å j Ó Â Ã À × º Ë · Á Ä Ã ½Ä Í Ã ¸ ¹ ¼ Ä Ã Â » ¹ Å j º à ½ Î Ã Ó Å Ã ¼ k à ¿ Ä Í Ãk ¼ ¸ × × º ¸ Í ¼ º Ó Ã ½ l ¾ Ä » ¼ ¿ ¿ à ¿ ¹ k à ½ ¼Å ¼ ¿ à ½ Ä Í ¼ Ä ¿ ¸ ½ ¾ Ó Ã ¿ Å ¾ À à ¿ ¾ À Ä ¹ Ä Í Ãº Ã Ä ¼ Å Å ¾ ¸ Å ¼ j à ½ Ä ¹  à Š¾ À à ¼ Ä Ã Ä Í Ã¾ À  ¾ k ¾ Â × ¼ Å ¿ ¹ Å ¼ ½ ¸ Ã Å Å Ó ¼ ¸ i m ¸ ¹ À Ä ¼ ¸ Ä Ë n o p Ú ç é è q r s t r u

. / 0 1 2 3 4 5 0 3 6 7 8 4 9 0 : ; / 2 < 8 0 : 0 = > 0 6 ? @ 3 6 = 3 A ? 8 4 B ; / 0 C @ 8 4 7 0 2 3 D 4 B B @ 3 = ; E F < G 0 > 0 3 ; / H 8 2 B 0 I 4 8 J K 8 4 A 8 2 BL H K M N O P P M Q O P R S T U 1 V C W X 8 2 3 ; Y A 8 0 0 B 0 3 ; 1 4 Z O [ P \ [ R* � � � � � � � � � � ! � � , � � ] � ! � ^ � � � � � �g ¹ ¿ ¿ ¾ Ó Å Ã Â Ã Á Ã ¸ Ä ¿g ¹ ¿ ¿ ¾ Ó Å Ã Â Ã Á Ã ¸ Ä ¿

v à Á à ¸ Ä ¿ w Ó ½ ¾ Â Ï ¾ À Ï x Ä Í Ã ¸ ¼ Å Å Ï ¼ » ¿ ¸ ¼ À Ï ¾ k à ½ ¾ ¿ Ã Ä ¹ ¿ Í ¹ ½ Ä ¿ ¼ ¸ ½ ¹ ¿ ¿ ¸ à ŠŠ½ Ã Â × ¸ ¾ À Ï ¹ k à ½ ¼ Å Åà Á Á ¾ ¸ ¾ à À ¸ jÐ Æ È c d � { | ~ { | } y { � { | � d � � e � � � } ~ � { ~ { � �y z { | } ~ � � } � � } � � | � � � ~ { } � � � } � � �� � } � � | � � � �� } � | � z � � � | � � � �� � � � z � z � � � } � ~ � � � } { � � � �

Ð É È Å Ã À ¿ º ¼ Ï À ¾ Á ¾ ¸ ¼ Ä ¾ ¹ À� � � � � ø ý ð ö � � û � � �

. / 0 1 2 3 4 5 0 3 6 7 8 4 9 0 : ; / 2 < 8 0 : 0 = > 0 6 ? @ 3 6 = 3 A ? 8 4 B ; / 0 C @ 8 4 7 0 2 3 D 4 B B @ 3 = ; E F < G 0 > 0 3 ; / H 8 2 B 0 I 4 8 J K 8 4 A 8 2 BL H K M N O P P M Q O P R S T U 1 V C W X 8 2 3 ; Y A 8 0 0 B 0 3 ; 1 4 Z O [ P \ [ R� � { ` � { � � � � � { � y { d � � � � } d � � | } � � � { ~ { � � � | { �  Ã Ä Ä ½ ¹ × Ï Í Ó ¹ Ä Ä ¹ º Ä ¹ Ó Ã ¡ à ½ ¹ ¼ À Â × ¿ â £ à Š¼ Ä ¾ k Ã Í Ã ¾ Ï Í Ä ¿¢ f ½ ¹ × Ï Í Î ¾ Â Ä Í¢ v à Á à ¸ Ä Î ¾ Â Ä Í ¼ ¿ ¤ ¹ Á Ä ½ ¹ × Ï Í Î ¾ Â Ä Í· ¿ ¼  à Á à ¸ Ä Â Ã Ä Ã ¸ Ä ¹ ½

¥ ¦ § ¨ © ª « ¬ « § ­ ® ­ ¬ © ¯ ¦ ° ® ± ¦ ® ­ ¬ ² ¦ ³ ¬ ²¦ ¬ ² ­ ´ © µ ¦ ¶ © · ´ ­ ® ¦ ¶ ´ ³ ² ¨ « ´ µ. / 0 1 Y 1 ¸ 5 0 3 6 7 8 4 9 0 : ; / 2 < 8 0 : 0 = > 0 6 ? @ 3 6 = 3 A ? 8 4 B ; / 0 C @ 8 4 7 0 2 3 D 4 B B @ 3 = ; E F < G 0 > 0 3 ; / H 8 2 B 0 I 4 8 J K 8 4 A 8 2 BL H K M N O P P M Q O P R S T U 1 V C W X 8 2 3 ; Y A 8 0 0 B 0 3 ; 1 4 Z O [ P \ [ R

¹ Ã À Ä ¾ ¸ × Å ¼ ½ Í Ã ¾ Ï Í Äg ¾ Ä ¸ Í

¹ Ã À Ä ¾ ¸ × Å ¼ ½ Í Ã ¾ Ï Í Ä º ¿ × Ó ¿ Ä ½ ¼ Ä Ãv ¾ ¼ º Ã Ä Ã ½75

» � � , � � � � " � � � � � � � " � � " � �� { � � � | � { � � � ¼ ½ ¾ ~ z � | } � � ¿ { � ~ � � � | � z | ¿ { � � � ~ � � � } ~ { � � | { � ~ | � { � | �� À | { � � � z ~ ~ � { z ~ � } � } � ¿ � � � � � | � � �Á Â Ã Ä Å Â Æ Ç Ä È É Ã Ê Ë È Ì Æ Í Î Î

Ï Ð Ñ Ò Ó Ô Õ Ö × Ø Ù Ò Ø Õ Ô Ò Õ Ø Ð Ú Û Ù Ö Ü Ý Ð Þ Ð ß Ó Ô Ó Ò à Í Ã Ç É Æ Ä á Â È Î Ç È Ä Æ Ç Ä È Í Î â ã Í Î É Ê Ã Ë Â È Â ä Í Ç Í È Îå æ ç è é ê ë ì í î ï è î ë ê è ë î æð æ é ñ ð è ò ó ô ò ë õö é è ê ð ÷ ò ó ø ù ù å ö úö î é ï õ û ð í ü æ û ü ð æ î é ê í ì í ç ý þ ï ü ð æ î é ê í ìï ë ÿ ï è î í è æ ï ö � � � ö � � þ � ö �� æ æ ì � é ý è ð � ü è � ù ù ù õ õö î é ï õ � î é æ ç è í è é � ç ö í î í ì ì æ ì è � î æ æ ì ì æ ç ñ è ð � É ä Â Ê Í

± ­ � ­ ¶ © ¦ ­ ¦ ¬ ³ µ © ¦ ¶ « ° � ¦ ° ® � � ¯ ª �� � � � � � � � � � � � � � �� � � � � ! " # $ %& ' ( � � ) * %

- � ) � � � � � � + � � � � � � � + � � � � , � � � � � � � � ,- � � � � � � � � � � � � � & � + - '. / 0 1 2 3 4 5 0 3 6 7 8 4 9 0 : ; / 2 < 8 0 : 0 = > 0 6 ? @ 3 6 = 3 A ? 8 4 B ; / 0 C @ 8 4 7 0 2 3 D 4 B B @ 3 = ; E F < G 0 > 0 3 ; / H 8 2 B 0 I 4 8 J K 8 4 A 8 2 BL H K M N O P P M Q O P R S T U 1 V C W X 8 2 3 ; Y A 8 0 0 B 0 3 ; 1 4 Z O [ P \ [ R

, � � - � ! � � ) � � � � � � � � � � � � � � " � � � � � � � � � �� � � � � � � � ! � � � � � � � � � � � � �. � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � # � � �� � � �+ � � " � � " � � � � " � � � � � � � � " � � � " � � �� � � � � � � � � , � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �- � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � /. / 0 1 2 3 4 5 0 3 6 7 8 4 9 0 : ; / 2 < 8 0 : 0 = > 0 6 ? @ 3 6 = 3 A ? 8 4 B ; / 0 C @ 8 4 7 0 2 3 D 4 B B @ 3 = ; E F < G 0 > 0 3 ; / H 8 2 B 0 I 4 8 J K 8 4 A 8 2 BL H K M N O P P M Q O P R S T U 1 V C W X 8 2 3 ; Y A 8 0 0 B 0 3 ; 1 4 Z O [ P \ [ R

. / 0 1 2 3 4 5 0 3 6 7 8 4 9 0 : ; / 2 < 8 0 : 0 = > 0 6 ? @ 3 6 = 3 A ? 8 4 B ; / 0 C @ 8 4 7 0 2 3 D 4 B B @ 3 = ; E F < G 0 > 0 3 ; / H 8 2 B 0 I 4 8 J K 8 4 A 8 2 BL H K M N O P P M Q O P R S T U 1 V C W X 8 2 3 ; Y A 8 0 0 B 0 3 ; 1 4 Z O [ P \ [ R0 ¨ ­ 1 « ¬ ³ ª ­ ¬ 2 © ¨ ­ � · ¬ 2 ¦ ¬ §· ¬ 2 ­ ´ 3 4 ¯ 5 6 1 ª 5 ¦ ¬ ¦ © ¦ « © ¦ ­

76