Vacuum systems

Vacuum vessel Pumps Piping

Vacuum Gauges Valves, Traps …

un minimo di Fisica …

un minimo di Matematica …

Vacuum systems

Vacuum vessel Pressure/Volume

P * V

Pump Pumping speed

S = dV/dt Flux-out Q = P * S

Particle conservation: dN/dt [*kT] = Qin -Qout

Pumping equation: -V dP/dt = P*S - Qo

Walls Outgassing Flux-in Qo

Vacuum systems

Piping

Walls Outgassing

At equilibrium: P = Qo / S no outgassing => P 0 but … how much time ?

Pressure at pump is not vessel pressure

Which mechanisms ? Could be controlled ?

-V dP/dt = SP P= Po exp (- S/V t)

-V dP/dt = SP – Q

P = Q/S *

[ 1 - exp(- S/V t) ] + Po exp (- S/V t)

La velocità di pompaggio S

è una conduttanza …

Velocità di pompaggio

effettiva Seff = 1 /

[ 1/S + 1/Ctot ]

Flux sources (Losses) QIN

Outgassing

Leakage Inlet …

QIN = Σ Qi

plasma

un minimo di Tecnologia …

in laboratorio …

Misura di curve di pompaggio

Misure di Spettrometria

di massa

- Misura di conduttanze in regime viscoso - Misura della pressione limite e del tasso di degasaggio

- Composizione del vuoto alla pressione limite - Ricerca di una fuga