� � � � �

(�)�����

(�)��� �����������A. ��

1. Air Leak Valve�� chamber�������� ������������������

2. Main Valve�� chamber��������� ������������������

3. Three Way Valve�� chamber �����!�"#$���%&� Rough Way'Close'Fore Way�()��*�+,-(). Close�/01��2� 31$���456789:;�<=�

4. RP Leak Valve��>?������

����������

��������

B. ����@"#ABCDE1F�GHI�JK�LMNOP'

QMNOP'RSB�TUVW�

1. �� !"

NOP4 Pa�X��YRZ[� 0.4 Pa ~ 2k Pa

2. #� !"QMNOP\. ion gauge�E]^_RNO��`a�bTILc��de ion gauge�_Rfgh^ijk��56lm=�3n�opqrstuvYRX

��T 10-1Pa'10-2Pa'10-3Pa'10-4 Pa0�a��YRX��wx(yz{)�a��

��w|(yL})��~56b��c���E��RY�h��X��� 10-1Pa�

ion gauge OFF

ion gauge ON

3. �$����kEh���� shutter������*�^��a� 1'2�������(1��)���S�(2��)���

C. %&1. '()*+

��!�������� OFF ��!����t��� ON

2. ,-.��� H� H¡� ON� �¡� OFF

3. /012-.¢�k� �£��¡��¤W¥E

H��¦§� RP��k�¤W¥����� DP��k�¤W¥�

4. 34

¨©rª«¬E A­(h�)® B­(¯�)�°±² chamber³�´¨©µw¶�·¸¹º~�r¬»31¼¨©½¾¿����ÀÁ¦´¨©mº

��r4��Âk��2()ÃĨ©�Å,^�~�Æ chamber)¨©IÇÄ2M1�ÈÉ�

5. Shutter56 �� chamberÊË�Ì���!�ÍHÎÏÐh�°^Ѻ shutter��Ò�,ÓÔ�!ÕÖ���×H�ØÙÚ��

6. 789�:;<EMain Valve�����1"Í��ÛC�Ü»ÝÞßh���àá�

B

A

COM

��â Shutter

�ãâäå

�æâ�!

7. -=>?��çèC��� �̄̂ -{v�Â()Céêµë().¨©VE��Ò

(H�é A���é B)�\ì�Æ�ÂçèC����¢�k�í��H��î�¤W¥�eF�ïha�¦§ð � ON��í�¦§�ñ�power¥�eF��h2��Âòó��,ô&õö�é�÷ø®ùú�Â��,ûû�â��üüýw�Âþ�År�§ýw���

(@)�ABA. C�

1. ������ H���������2. {v#�: close�RP leak� off��Mechanical Pump(RP)���0

30��3. {vMain V� off�#�:�� Fore way��� �� � �� ���4. � Diffusion Pump(DP)���Ü DP�5. 7 30~40%��`r4��QM�í�r4 loading�LM�

B. Loading1. {vMain V� off�kÈÉP�� Air leak V����f�» chamberhk� Air leak V�

2. �F ChamberÎÏÐ�3. Loading�����¨©����Ò»�4. ��RSB(crystal)éê���5. p��Ù�� Chamber_��� O-ringË%�� ���� ����¬� Chamber��������������� �!"#�

C. ��1. {v Air leak V� off�Main V� off�#�:�� Rough way����� � $%&'()* ���

2. #%�h�� ChamberÈÉP��. Chamber�Nùà 1Pa(1×10-2Torr)���

3. #�:�� Fore Way�� �� � �� ����� 7à 7�§à!�

D. #�1. ûû��Main VÃ/��("pO#��2. 20%�h`�� ion gauge_$NO�ion gaugeÅr41�dì�pÀjk�

3. NO% 5×10-3Pa��Ü»ÝÞß���4. �. Chamber�Nù. 5×10-4 Pa(5×10-6Torr)4���jrk ion

gauge�����E. ��

1. k ion gauge�NOP���S�B�2. Ü�Â�+ ,-./-01�������23 4%566)* �78��9:;<=>����ÃV]S��k�Â�RSB�

3. kMain V�k DP���#�:&� Fore Way��� �� ?@� ����A�

F. EF

1. ��f'h�� 10~20%��� Air leak V�ã��f(�» Chamberh�k� Air leak V�

2. )Ò*+,�-.���¨©�3. p��Ù�� Chamber_��� O-ringË%�2kH Chamber�

G. +�1. {vMain V� Air leak V� off�#�:�à Rough Way��tLM�

2. �. Chamber�Nùà 1Pa(1×10-2Torr)�#�:�� Fore Way�3. � M���. Diffusion Pump/�ùÃ0/�íÀÁ]^11x��

4. @G�5H Close�kMechanical Pump���k������� H����k����

5. � RP leak�ã��f(�»�2h�k� RP leak�