液晶ガラス基板搬送用ロボットLCD PANEL HANDLING ROBOTS
SR8651(5.5G LCD用)
スカラタイプ Scara type
真空用液晶ガラス基板搬送用ロボット Vacuum Environment LCD Panel Handling Robots
SR8651(5.5G LCD用)/SR8652(6G LCD/5.5G Solar用)
●常温から高温まで対応する多種のエンドファクタを準備●駆動部をユニット化することでメンテナンスを容易化●長いZストロークで3段LLに対応可能●コントローラが小型軽●独自のクーリングシステムを採用し、高い温度環境に対応●R部と本体が分割容易で保守点検/チャンバーへの入れ込み簡略化●セラミックハンド使用で高いモーメントに対応可能●高い精度部品とハイブリッドベルトを使用したアーム駆動機構●R軸をリニア駆動とすることで高い直進性を確保(SR8653シリーズ)
●Different types of end effectors to meet different temperature requirements.●Module structure drive units for easy maintenance.●Ability to access up to three-layer Load Lock with long Z-stroke .●Small and lightweight controllers with common structure for easy maintenance.●Sankyo's original cooling system to meet high temperature requirement.●Easy to separate R-axis unit from Manipulator for simple maintenance and installation. ●Seramic hands available to meet high moment.●High-precision parts and hybrid belts used for arm drive units.●Linear drive R-axis to achieve high straight line accuracy. (SR8653 series)
自由度 Degree of freedom
動作範囲 Working range
RR/RL軸 RR/RL axis
Z軸 Z axis
θ軸 Theta axis
最高速度 Maximum speed
RR/RL軸 RR/RL axis
Z軸 Z axis
θ軸 Theta axis
繰り返し精度 Repeatability
騒音 Noise generation
ガラスサイズ Glass size
真空度 Vaccum-resistance level
1100x1300mm t=3.1~5.2mm
1.33×10-2Pa5-AXIS(all AC-servo controlled)
2400mm(+/-1200mm)
3370mm/sec
450mm+140~ -185deg.
300mm/s2.09rads/s+/- 0.2mm80dB or less
SR8653( 8G LCD用)
リニアガイドタイプ Linear Guide type
SR8652(6G LCD/5.5G Solar用)
1100x1300mm t=4~5mm(Solar)1500x1850mm t=0.5~1.1mm(LCD)
1.33×10-2Pa5-AXIS(all AC-servo controlled)
2720mm
2474mm/sec
465(Solar)/670(LCD)mm+140~ -185deg.
400mm/s2.09rads/s+/- 0.2mm80dB or less
SR8653(8G LCD用)
太陽電池 SOLAR CELL
特長Features
2200x2500mm t=0.5~0.7mm
1.33x10-2Pa5-AXIS(all AC-servo controlled)
3620mm
2700mm/sec
820mm+140~ -185deg.
500mm/s2.09rads/s+/- 0.25mm
85dB or less
液晶 LCD OLED
真空用FOR VACUUM ENVIRONMENT
自由度 Degree of freedom
動作範囲 Working range
RR/RL軸 RR/RL axis
Z軸 Z axis
θ軸 Theta axis
最高速度 Maximum speed
RR/RL軸 RR/RL axis
Z軸 Z axis
θ軸 Theta axis
繰り返し精度 Repeatability
騒音 Noise generation
ガラスサイズ Glass size
真空度 Vaccum-resistance level
●上記製品の一部にはカスタム対応品となるものがございます。Some products listed above are exclusive for specific customers
●上記製品に関するお問い合わせは49ページの“お問い合わせ先”をご参照ください。For additional information, please contact the offices listed on page 49.
●上記製品の一部にはカスタム対応品となるものがございます。Some products listed above are exclusive for specific customers
●上記製品に関するお問い合わせは49ページの”お問い合わせ先“をご参照ください。For additional information, please contact the offices listed on page 49.
CO
NTA
CT
半導体ウェハー搬送用ロボットWAFER HANDLING ROBOTS
SR8607
真空用半導体ウェハー搬送用ロボットVacuum Environment Wafer Handling Robots
SR8607
●Φ300mmまでのウェハーに対応するエンドエフェクタ付き●高スループットを実現する2アーム×2エンドエフェクタ●高い直進性を確保●高分解能アブソリュートエンコーダ付きの交流サーボモータ使用●安全性向上・高速/高機能化したSC5000コントローラを使用●ブーメランアームで最小回転半径確保(小さなフットプリントを実現)
●End-effectors for wafers up to Φ300mm●Dual arm version and double plate end-effector insure max. throughput●Excellent straight line accuracy●AC servo motors with absolute encoders for easy maintenance●The enhanced safety・high speed/performance commonly usedSC5000 robot controller●Smaller radius of gyration with boomerang arm application
動作範囲 Working range
RR/RL軸 RR/RL axis
θ軸 Theta axis
Z軸 Z axis
最高速度 Maximum speed
RR/RL軸 RR/RL axis
θ轴 Theta axis
Z軸 Z axis
繰り返し精度 Repeatability
騒音 Noise generation
本体重量 Manipular weight
リーク率 Leak Rate
本体外装 Outer Sheath
真空度 Vaccum-resistance level
自由度 Degree of freedom
3x10-6Pa5-AXIS
-300~+425mm.360deg(endless)
225deg(1900mm/sec)225deg/s
215mm
100mm/s+/- 0.1mm80dB or less
240Kg(include hand)1x10-6Pa・m3/sec
SUS cover ,Aluminum cover運転条件 Operation Conditions 0~40℃,30~90%保存条件 Storage Conditions -30~70℃,10~95%
SR8608ブーメランタイプ Boomerang type
SR8608
動作範囲 Working range
RR/RL軸 RR/RL axis
θ軸 Theta axis
Z軸 Z axis
最高速度 Maximum speed
RR/RL軸 RR/RL axis
θ軸 Theta axis
Z軸 Z axis
繰り返し精度 Repeatability
騒音 Noise generation
本体重量 Manipular weight
リーク率 Leak Rate
本体外装 Outer Sheath
真空度 Vaccum-resistance level
自由度 Degree of freedom
3x10-6Pa4-AXIS
-340~+360mm.-95~+185deg
275deg(3260mm/sec)275deg/s
150mm
150mm/s+/- 0.1mm70dB or less
180Kg(include hand)1x10-6Pa・m3/sec
SUS cover ,Aluminum cover運転条件 Operation Conditions 0~40℃,30~90%保存条件 Storage Conditions -30~70℃,10~95%
特長Features
真空用FOR VACUUM ENVIRONMENT
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モータ
モータ駆動ユニット
カードリーダ
産業用ロボット
プラスチック成形品
センサ
精密ボールねじ
クリーン環境機器
オルゴール
サンキョーカタログ2013.indd 35 13/03/14 17:05