+ All Categories
Home > Documents > Free-radical synthesis of narrow polydispersed 2-hydroxyethyl methacrylate-based tetrapolymers for...

Free-radical synthesis of narrow polydispersed 2-hydroxyethyl methacrylate-based tetrapolymers for...

Date post: 23-Apr-2023
Category:
Upload: demokritos
View: 0 times
Download: 0 times
Share this document with a friend
11
Free-radical synthesis of narrow polydispersed 2-hydroxyethyl methacrylate-based tetrapolymers for dilute aqueous base developable negative photoresists Constantinos D. Diakoumakos * , Ioannis Raptis, Angeliki Tserepi, Panagiotis Argitis Institute of Microelectronics, NCSR Demokritos, Terma Patriarchou Gregoriou Str., 15343 Athens, Greece Received 6 July 2001; received in revised form 24 September 2001; accepted 7 October 2001 Abstract Novel meth)acrylate tetrapolymers based on 2-hydroxyethyl methacrylate HEMA) were synthesized via free-radical polymerization in re¯uxing xylene under monomer-starved conditions for use in negative photoresist formulations. 2,2 0 -Azobis2-methylbutyronitrile) was used as initiator and 2-mercaptoethanol as chain transfer agent. Optimized resist formulations were obtained with a relatively narrow polydispersed D 1:86 low molecular weight copolymer M n 1677 of 2-hydroxyethyl methacrylate HEMA), isobornyl methacrylate IBMA), cyclohexyl methacrylate CHMA) and acrylic acid AA), in a 40/30/23/7 weight ratio. A novel high-resolution single layer negative tone photoresist suitable for 193 nm and e-beam lithography that meets basic performance requirements aqueous-base development, enhanced etch resistance, sub-0.2 mm resolution) was developed from the aforementioned meth)acrylate tetrapolymer, the poly2-hydroxy- ethyl methacrylate-co-cyclohexyl methacrylate-co-isobornyl methacrylate-co-acrylic acid) PHECIMA) and a sulfonium salt photo acid generator. The key-components for the negative image formation photoacid induced crosslinking) are the hydroxyl groups of the HEMA moieties. The swelling-free negative resist material was developed in diluted aqueous base [tetramethyl ammonium hydroxide, TMAH) 0.26 £ 10 22 N] and presented enhanced etch resistance without the use of etch resistance promoters. 0.20±0.14 mm lines were obtained upon 193 nm and/or e-beam lithography. q 2001 Elsevier Science Ltd. All rights reserved. Keywords: 2-Hydroxyethyl methacrylate; Methacrylates; Free-radical polymerization 1. Introduction The capability for constant evolution of both the tools and the materials used in optical lithography has established this technology as the unchallenged choice for patterning in the manufacturing of modern ICs. Moreover, near future devel- opments in IC integrated circuits) dimension shrinkage are also anticipated through improvement of optical lithogra- phy. Most recently, the drive toward smaller features has led to the research and development efforts in developing a production worthy 193 nm lithographic materials technol- ogy [1,2], and research efforts for 157 nm lithography have started to gain momentum. Exposure tools at 193 nm, using ArF excimer lasers as light sources, are now in production for the fabrication of 0.13±0.18 mm design rule micro- electronics devices. In the resist ®eld, quite a few positive platforms have been developed and evaluated for use in industrial environment [3]. However, limited and rather moderate results have been reported so far regarding negative resists suitable for exposure at this wavelength [4±9] despite the fact that resists of this kind may offer serious advantages for certain mask levels and pattern types [10,11]. The priority given to 193 nm positive materi- als explains their prominence but inherent dif®culties for 193 nm negative resist design and development should be also considered and discussed. The main challenge in designing resists either positive or negative) for 193 nm lithography, comes from the fact that aromatic matrix resins employed in g-line, i-line and deep- ultraviolet UV) lithography novolacs for g- and i-lines and functionalised polyhydroxystyrenes) or styrene±acrylate copolymers for deep-UV) are too opaque at 193 nm preclud- ing their use in single-layer schemes at this wavelength. Moreover, the etching resistance of 193 nm photoresist candidates emerged as an issue of equal if not of greater importance, since etching resistance has traditionally been achieved through the use of aromatic moieties in the resist Polymer 43 2002) 1103±1113 0032-3861/02/$ - see front matter q 2001 Elsevier Science Ltd. All rights reserved. PII: S0032-386101)00672-3 www.elsevier.com/locate/polymer * Corresponding author. Tel.: 130-010-650-3114; fax: 130-010-651- 1723. E-mail addresses: [email protected] C.D. Diakoumakos), [email protected] C.D. Diakoumakos).
Transcript

����������� �� ��� �� ������ ���������� ���������� ���� ������ ������ � �������� ��� ��� � ������ ��� ���������

���� ��� ��� ����

��� �� ��� �� ����������� !����� "�� � #������ $����� %������ � #��� �

��������� � ����� ���������� ���� ����������� ����� ����������� ��������� ����� ��� � !������ ������

"������� & '�� �(()* �������� �� ������ ���� �+ ,�� ����� �(()* ����� �� - .� ���� �(()

��������

/��� 0�� �1����� � � �������� ���� �� ���������� �� �� ������ � 0234#1 ���� �� ���5�� ��� ����������� �������5� ��� ��

��6����� ����� ����� �������� ����� ����� ��� ��� �� �� ���� ��� ��� ���� ������ ���� � � ��#5���0���� ���� ����� ���1 ��

��� � ��� �� �� ��� �������� �� ���� � ����� ������ ���� � .� ���5�� ��� ������ ��� ���� �� ����� �� � � ��� ���� ������

���������� �� � )�7&� �� ������� ����� �������� �� � )&--� �� ���������� �� �� ������ � 0234#1 ������� �� ������ �

0!84#1 �������� �� ������ � 0�24#1 ��� ������ ���� 0##1 �� � +(9:(9�:9- ����� �� ��� # ���� ��������� ��� ���� ���� ���� ���

��� ��� ���� �� ��� ��� );: �� ��� ������ � �������� �� ��� ���� ����������� ���������� 0���������� ���������

�������� � �� ��� ���� ���(�� �� ���� ���1 �� �������� ���� �� �������� ����� 0�� �1����� � � �������� �� ���0����������

� �� �� ������ ������������� �� ������ ������������ �� ������ ����������� ����1 0%23�!4#1 ��� � ������� � ��� � ����

������ ��� $�� ������������ ��� �� ���� ��� ����� ����� ��� 0��� ����� ������� ���������1 ��� �� ������� ����� �� �� 234#

���� ��� $�� ���������� ���� ��� ��� �� ���� �� �������� �� ��� �� ������ ��� < � ���� �� �������� ��������� 0$4#21

(��& � )(��/= ��� ����� �� �������� � �� ��� ���� �� ��� �� �� �� � �� ��� ���� ����� ��� (��(>(�)+ �� ��� ���� �� ����� ����

);: �� ���9�� ������ � ��������� � �(() 3����� ,������ ? �� # ���� ��������

"�#$��%�@ ��2������� �� �� ������ �* 4� ������ �* ����������� �������5� ���

� ���� ������

$�� ������� � ��� ��� �� ���� ��� �� �� � �� �� ���

�� �� ���� ��� �� �� ��� � �������� �� � ������ ��

�������� � �� ���������� ������ ��� �� ������ �� ��

������� ����� �� ������ !�� 4������� ���� �� ��� �����

����� �� !� 0�� ���� �� ������ 1 �������� �������� ���

�� �� ����� �� ������ ���������� �� �� ��� � ������

���� 4� ����� � �� ����� ����� ���� ��� ��� ��

�� � �� ������� ��� ��������� ����� �� ��������� �

������ ��� ��� �� );: �� � ��������� �� ���� ������

��� <) �= ��� ������� ����� ��� )A- �� � �������� ����

�� �� � ���� ����� ��� 3������ �� � );: �� ����

#�� ������� ��� � ��� ����� ��� ��� �� ������ ���

��� �� ������� ��� �� (�):>(�)7 �� ����� ��� ������

��� ����� ������� !� �� ��� B�� ��� � � ��� ��� ���

�� ���� ���� ���� �������� ��� ����� �� ��� �� ��

���� ��� ���������� <:=� 2������ ��� �� ��� �� ���

������ � ��� ���� ���� ����� �� � ��� ���������

���� ��� ��� �� ��� ��� ������� � �� ������� �

<+>;= ���� � �� ��� �� ��� �� �� ���� ��� �����

����� ����� ��� ��� ��� ��� ��� ��� ��� �� ���

��� <)( ))=� $�� ������ � ����� � );: �� ��� ��� �� ����

� ������ ���� ���������� �� ������� ���B�� �� ���

);: �� ���� ��� ��� ����� ��� ��������� ���� ��

�� ��������� ��� �������

$�� ���� ������� �� �������� ��� 0�� ��� ��� ��� ��

���� ���1 ��� );: �� � �������� ���� ���� �� ��� ��

����� �� �� ��� ���� ������� �� ����� ����� ��� �����

� ������ 0CD1 � �������� 0������ ��� �� ��� ����� ���

���� ������� ���0������� �����1 �� �����>����� �

�������� ��� �����CD1 ��� �� ������ � );: �� �������

��� ���� �� �� ��������� ����� � �� ������� ��

4������� �� � ����� ��� ���� �� );: �� ��� ����

������� � ������� � �� ��� �� ���� �� �� �� ���� ��

����� ���� ���� � ����� ��� ���� �� ���� ����� ����

�������� ������ �� �� �� ����� �� ���� �� �� �� ���

%����� +: 0�((�1 ))(:>))):

((:��:7&)9(�9E � �� ���� �� �� � �(() 3����� ,������ ? �� # ���� ��������

%!!@ ,((:��:7&)0()1((&-��:

��������������9��� �9������

� ������������ �� ���� $��@ �:(�()(�&A(�:))+* ���@ �:(�()(�&A)�

)-�:�

&'��� �%%������( ������������F����������� ����

0���� ����������1 ��� �� �����F���������� 0���� ����������1�

������ <)�=� $������ �� ����� �� .����� � �� <): )+=

��� ����� �������� ��� <)A )&= � �� ���� ������� ��

�� ��� ��� �� ����� ��� � ����� ��� ���� ��� �� G����� ���

������ ��� �� H �� � �� ���� ��� �� ���� ������� ��� ��

������ ���� �������� �� ����������� �� ����� ��

��� �� ���� ���������� � # ����� ��� ��� ����

���� ���� �� �� �� ����� ��� �� ��� �� ����� ��

�������� �� ���� ��� �� �������� ���� �� �� ���

������� �� � �� ��� ���� ����������� <)- )7= ��

��� � �� �� ������ �� ��I�� ������� ��� ������

$�� �� �� � ��� ���� � ���� �� );: �� �������

���� 0�� ��� �������� � <);>�:= �� �����B� <�+>�;=1

�������� ����B�� ��� �� � �������� ��� ��� ���

� � ���� ��� ��� ����� �� ��� ���� ���� ����� ��� J���

����� ��� ��� ������������ ����B�� ��� ���� ��

��������� ���� �� ����� ������ � �������� ��� ���

�������� ����B�� ��� <� :( :)= ������ �� ��� �

��� ������ ����������� ���������� �

$�� ������� ����B�� ��� ������ �� ������ ���� ��

��� �� ����� �� ��������� ��� ���� ��� ��� ����

������ ��� �+7 �� K���� ��� ������ <:�= � ���������

/���� ��� �� ���� ����� �� ��� � ������ �

������ ���� ��� �� ���� �� ��� ��� �+7 �� �� ��

������ ���� ��������� � );: ��� $�� �� ��� ��

����� ���� ����� �� ��� ������� �������� ��� ���

��������� �� ������� ���� ��� � �� ��� ���������

��� � � ���B�� ��� <&= ���� ���B�� ��� <A= ��� �������

������������ <7= ���� ���� ��� � �������� �� ���B���

�� ���� �� �� ���� � ����� �� �� �� ������� ����

�� � ������� ��� ���� );: �� ����������

"���� � ��� ����� �� ���� �� ���0���������� ��

�� ������ �1 0%234#1 ������ <::= ���� ������� ��

�� ������� �� ����� � ��� � ���� ������ �� ������

�������� �� ������ �� ������ ������� ����� ��

%234#� 8� ���� %234# ���� � ���� ������ ��

������ ������� ����� �� �� ���� ����� ����

����� ��������� <:+= ���� �� �� ��� ����� ������

��� �������� ���� ���� !� ����� � �������� ��

������ �������� �� 234# �� � � ��� 0�� �1����� �

������� ���� ���� ������� �� ���5�� ��� ��� ���

�� ��������� �� ���� ��� �������� ����B�� ���

������ ��� �� ��� ��� );: �� ��� ������ �������

<:A=� !� �� ����� ���� �� ����� �� ����� ��������

�� �� �� �� ���� �� ��� �� ������ ���5� ��� �� �������

�� ��� ���� �������� � �� � ��� ��� � ���������

��� � );: �� ��� ������ �� ���� ��� ��� ������ ����

$�� ��� ������ ��� �� � � +��������� ��������

���� ��� �� ���������� �� �� ������ � ��������

�� ������ � ������� �� ������ � ��� ������ ����

0%23�!4#1� ! �� �� ���5�� ��� ����������� �� ���

�������5� ��� ��� ������ ���5��� /��� ��� ��� ����

������ �� ���� �� ������ ��� �� ����� � � ��� ��

5��� J� ������� �� ������� �� ��� ���� ��� ��� �� � �� ���

���� ������ ��� ��� ��������� ���5�� �������� ��

����� � ���� � �� �� ����� �� ������ ��������� ��� �

��� ������ ���� �� � ��������� ������������

# ��� ��� ��� �� �� ���� ��� ��� � ��� �� � ��

�� ���5� ��� �� �� ��������� ������ $�� �� �����

���� ��� �� � ���� ����� 0�"41 ���� ��� ������� ���

��� � ����� ���� ��������� ����� ��� ���� ������

����� �� ��������� ��� �� 0���� �� � )((1 ������ ���

�������� ��� �� ������ (��&/ � ���� �� ��������

��������� 0$4#21� %� �� �� ��� ����� ��� ���� ��

� �������� ������ ������� ����� �� ����� � �� ���

�� ����� ��� �� ���� � �� ��� ��� �� ��� ��������

������ �� �2 0�)(1 �� ������� � ������ � ����B��� �

���� ��� �� �� ��� �� ������ $4#2 �������� �� �

�2 � )) �� ������ 0����� ���1� $�� ��� ������ ���

������ �� ��� ����� ������� ���� �����������

������ ��� � ����� ��� � ���� ���������

��������� $��� ��� �� ��� �������� ���� �� ��

��� �� � ��� ����������� ��� ������ ��� 0���� ��

������� ��������� ����� ���1 ���� �� �������� �

����� �� ���� ��������� �� ��������� ��� ��������

��� �� �� ������ ��������� �� ������ ��������

��� � ��� � $��� �������� ��� �� �� �� ���� ������

�� �� �� ������ �������� B�� �� ���� ����������

����� ���� ��� � �� ��� �� 08��1 434, <:&>+(=�

� ������������

)��� ����������*����� �����%�� +��������� ��% �,+�����

��� �

�$�!" ��� �� ���� �� ����� ���� � /���� 4���� AA(

�$�!" ��� ���� ��� CD>�� ��� �� ���� �������� �� �

%����� 3��� CD>�� ?����� +( ��� ��������� ����B�

���� � );: �� 0�);: �� ���)1 ���� �� �������� 4����

� �� �������� �� ������� ������� �� 04�,�1 �����

���� ��������� �� � � $��� !� ����� �;�( �������� ��

������� ������� �� ���� � ���� ������ ��� 0&((��1 ��

�� � /� � ������� 0A( � ����)1 � � ��� ��� �� � ��

)(�� ����)� L� ������ ��� ������ ������� 0L%�1 �����

���� ������� �� �� � J#$3", 8"33M3 )A)A ���� ?�����

������ ������ �� � � �������� �� ������ ��� �� 0J#$3",

�+)(1 � �� �� ��� $2� �� ��� � � ���� � � 6�� �� �

) � ����) ������ � ����� ����� 0, ������ +�& ��

!��� � :( ��1 ��� � ���� �� ���� , ����� 2"� �����

02"A 2"+ ��� 2") A �� ��� ��� �5� -�7 ��

!��� � :(( ��1� # ����� ���� ���� ����� � � ��� ��

������ ��� �� :(�� ��� ��� ����� ������ ���� ��� ���

�� ������ ���� $�� ������� 0� ���1 ��� �� ����� ����� ��

0<�=1 � �A�� �� �� %23�!4# ���� �� ������� ��� �� ���

�� � ��0�1�0�1��� � � ���� �� C������� ������� ���

������ �� ��������� � �� #,$4 �)&()�7&� $�� �����

���� K���� ������� ��� �� ��� ��� ������ ������� ����

�� ����� �� �� K���� %J�)):(9(( %���� ������� ��� ���

!� ����� � �� ������ �� ���������� �� �� ����� ��� �

�������� ���� �� �������� ����� � )�(�� �� �� ����

��� )� �� ! �� ������� � ����� �� � ������ �� �����

-(N ��� ��� ������ � 0����1 �� ���� ����� �� ���� �� ��

���� ����������� �� � � - �� #��� � .)//)0 ��/�1����))(+

����� ��� �� ������ �� ��� �� /�/.� � �A�� 0����

�(�A��1� $�� ���� ���� ������� ����������� $���

B� 0(�+7 ��1 �� %23�!4# ��� �� �� ��� ������ ���

0�� � ���� �� ��� �(N �9� �� � ��0�1�0�1��� � �1 ��

����� ����� ���� �� ����� ���� ������� ��� �� � 2����

��� "������ !��� ������� ��� ������ ���������

���� ��������� �� � ,��� $�������� ������� ��� ��� ��

!�� ���B��� ��� $�� �� �� � 2$�:(:� ���� ���

�������� �� � � ���� � ������ ��� ��� ���� #$D

$��������� L��2 0���� �(�A��1 ���� ��� ��� ��

�������� ������ ����� ����� #�������� ����B���� �

);: �� 0�);: �� ���)1 ���� �� ������� ���� CD

��������� ��������� � );: ��� $�� ������ ��� �����

0��1 �� ������� ���� �� ?))&8 L��� ��� ,���� �B�

0��� 2�>/� &:��7 ��1 ������ ���

���� ��� �� ���� ���� �� �� ��������� � �����

��� �� � ���� �� 0�"41 �������� �� � � ��� ��� ��� � �

������� � �� &A( ��� $�� ���� 0,� ����� ������� �� �

�� ��� ����1 ����� �� � �� ��� $�� ��� ���� ����

�� ��� ����� ������� ��� ��� ���� 0�� A�1 �� ��

��� ������ ��� ������� � ��� � �� ������ ��� �����

���������� �� ���� ��������>��� >�� �� � �� ����

������� �� �� �� �� ��� .�� ���� 0#1 ���� ���� ��

��� ������ ��� �� ����� 081 ���� �� ��� >�� �� �

�� ������� $�� � � ������ �� ������� �� �� �� �� �� �

���� ���� ������ � �� � ������ ��� ���� �� � ����

������ �� � ������� �� ������ ��������� ��� �����

�� ������ ��� �������� �� �� ��� �� � ����������

�� ���� ���� # 8 ������� !� ��� ����� ���� �����

�� ��� � ����B��� �� �� ������� � ���� G�� ������H �

�������� ��� �������� ���� ���� ��� ������� �� ��

�� �� �� <+)=� $�� �� �� �� � �������� �� � � ������

���� B �� �� ����� � ������ � �� ����� �� ������ ���

�� �� ���� ���������

��� ��������� CD ������� 0��(>�A( ��1 � 2�>K�

��� �� ���� 2�������� ��� );: �� ������� ����

���� �� �� #,4? );: ��� ����� %#,,AA((9;(( � ��

����� � �� !43� �� ?����� 08�����1 ��� ,$ 4��������

����� 0���� ������1 ���� � ������ ���� B�� ����

2�������� ��� ������ ������� ���� ���������� ��

� A(���D ������ ������� 0?���� 38%L�:1�

3 �� ��� ���� ��������� ���� ��������� �� � "����

��� !�� 3 ����� 0"!31 ������� 0#?�#$3? /�� �� /3

::(1 ��� �� �� !���� ���� ������ %��� 0!�%1 ���� ��

0#?�#$3? 43$1� 3 ����� �� � ���� ������� �� ����

�� ������ ���B��� �� ��� ������ �� �� �� )���� ����

� ����� ��� ������ ��� �� ���� �� �� � � �� �������

��� � ������ ��� %������� ����� ��� ���� +(( J

����� ��� �� "!3 7(( J ����� ����� ��� �)(( D ���

�� ��� ��� �� !�% � � ������ �� )( �$ �� ������ ����

������ �� �������� ����� ��� 0.� ,�& �2�:1�

)�)� ������ �

��2������� �� �� ������ � 0234#1 0;-N1 ��������

�� ������ � 0�24#1 0;- � N1 ������� �� ������ �

0!84#1 0;�N1 ������ ���� 0##1 0;;N1 ���0�� ��

�� ������ �1 �������� �� ���� 0;7N1 ���0����������

� �� �� ������ �1 0%234#1 +������ 0;; � N1 �� ���

��� � ��� 0;7N1 ��� � ��0�1�0�1��� � � 03?1 0;7N1

���� �������� ���� �� #����� ������� ��������

� � ��#5���0���� ���� ����� ���1 0;7N1 �� �� �����

���� ����� # �� ���� ���� ��� � ������� $��������

������� ����6������ ����� � 0$%,2�# ���� � �((��1

�� ��� � � ��� � ���� ������ �� 0%#L1 �� ��� ���

������ ��� �� :>A � N �� ������ ��� � $�� ��������

��� �� ��� ����� �� � ���� �� �������� ���������

�� ��� 0$4#21 (��& � )(��/� #� ����6�� ��� ��� ���

#"�); ��� � %2,� ��� ��� CD!!!� ���� ������ ����

,����� �������� # ������ ��� ��� #MA�)+ ��

�������� ���� ������ �

)��� �#������� � �2&��!

# �A(�� �������� �� 6�� �������� �� � � ���������

����� � ������� �� �� � � ������ ��� ��� ���� � /�

��� � L����� �������� �������� �� � � ��� B���� ����

��� �� �� � �� ��� ��� � �������� ����� ��� � ��� ���

��� � �� ������� �� � �A � �� ����� ��� ��� �� � ��6���

# �� ��� �� ����� ������� 234# 0+)��: �1 �24#

0�:�-) �1 !84# 0:��&) �1 ��� ## 0-�(- �1 ��� �� �� � � ���5���0���� ���� ����� ���1 0:�(& �1 ����� ������ ����

�������� �� ���� 0:�(& �1 ��� �A � �� ����� �� �����

������� �� � �� 6�� ���� � ������ �� : � �� � ������ ���

��� ���� J��� ���� ��� �� ����� � ��� ��� (�:) � ��

� � ���5���0���� ���� ����� ���1 �� ����� ��� ��6�����

�� ��� ����� ��� ) �� $�� ������ ��� ��� �� ������ �� �

�� ����� � ��� 0+(( �1 ��� � �� ����� ��� : �� $��

������� � �� ��� � ��� �� B ���� ��� ����� ��������

�� � �� ����� � ��� ��� ����� �� � ������ ���� � A(�� ���

�+ � � �� ��� %23�!4# 0��� � ������ ;;�)( � ����

;;�)N1�

� � )&--� � � :))7� � � �A7&� *�) � )( &:(�

� � )�7&� �� � �;�)�� 0��� ������ ��� �� ������� ��

4�,�1 ��� � -(17��� ����2�� � (�&; ' ��) 0�������

�� 4�,�1 ���� � (�)(; � ��)� ��� � (�(&� � ��)

�);: �� � (�:-) ���)� �� � )�+&)� �� �� �� ��� � )�+-N

0���� � -(N� ���������� �� �� )�( �1�

CD>��@ ���� � );( �� 0��. � � ��1 0B�

������ � (�A( ��1�

�$�!" 0���)1@ :+-; 0.>2 �� �����1 �;+( 0�>2

�� �����1 )-�7 0��. �� �����1 )+A+ 0�>. ��� .>2

���� ������1 ):;( 0.>2 ����1 )�++ 0�2� �������1 ))&(

��� )(-- 0�>.>� �� �����1 )(A) 0�>.2 �� �����1�

� ������� �� ���������

���� �� #��� %����� +�����+ ��

������ ��� ���� �� ���0���������� �� �� ������

� �1 0%234#1 ��� ����� � � ��� �5�� �� � ���� ���

��� ��� ���� � /���� ��� �� ��������� ��� �� ���

���� ����������� �� � � - �� #��� � .)//)0 ��/�1���� ))(A

����� ���� ����� ��������� �� ��� ���� ������ ��

������ ��� ��������� ����� ��� $��� ���������

���� � ���� �� � �� ��� ���� ���� ����������� � ��

%234# ��� � � ������ ������� ������ $�� � ���

���� �� 234#����� �������� ����� ������ � ���

�� ������ � ������� ������� �������� ����� ����

���� �� ���5��� 4��� ��� ������ �� ������ �����

�� ��� �� ������ ���� �� �� 0,����� )1@

0�1 $�� ��������� ��� �� ������ �������� �� �����

���� �� ����� �� ������ �������� <���� ���0�� �1�

����� � ���= �� ���� ������� �� ������� ��� ��

�� ��� �� ������� ���� ����� � ��� ���� �� ��5��

��������� ���� ��� 0���� ���� ���B�� ��� � ���B���

��� � ����B�� ���1 0�������� �� ��� ��� ��� �� �����

����� � �%�1� 4������� �� ����� � ����� �� �

������� �������� �� ��� �� ������ ��� ��������

����� �� �������� 0������ �������� �� �����1

��� �� ������ 0��������1 ��� ���� �������

0�1 $�� �� ����� ��� �� ��������� ����� �� ����

������ �� ���������� ��������� �� �� ������

�����9���������� �������� ������ ������ ��� ����

5� ��� ���� ��� 0�������� �� ������ ���� ����� � �#�1�

$�� ������ ��� �� �� �������� ���� � �� �� ��� ��

�� ����� � ���� �� �������� ���� �� ������� ����

��������� ��� ��� ��� ���� $�� �� �� �������� ��� �

234# �� ���� �� ������ ���� �� ���������

������ ��� ����� � ��� �� ������ ��� �� ��

��������� ����� � ������ �� � �������

0�1 $�� �� ����� ��� �� ������ ����� �� ���� �����

���� �� ������ �������� 0������� ��������

���� ����� � ��1 �� ���� ��� �� �� ���� �� ���9

�������� �� �� ������� ��� ������ 0���� � ���� ���

�������� ���������1 ��� ��� � �� ����� ��� �������

��� �� ��� ����� ��������� � !� ���� ��� ����

���������� ������ ������� � ����� �� � ������� ��

� �� ��� ���� �� �� ��� ������ ��� �� ���������

����B��� � �� ������ ������ ��� �� �� ��������

�� ��� �� � �� ����� � �� �������� ��� ��

�������� ���� � �� ��� ���� <)�>)&= 0��������

��� ��������� ��I� ��� ��� � �� ��� ���� ������

��� ��#3"%1�

��)� �#������� ��% ����������*����� � ����.���# ���0

�����+� #����

$�� �� ��� ����������� ���������5� ��� �� ����������

� �� �� ������ � 0234#1 �� � � ��� 0�� �1����� �

������� � ������ ������� ������ ��� ����� ����

��� ������� ����� �������� � ���� �� 234#�����

0�� �1����� � �������� �� � )+1;� � )(�� � �

)�-(1��+A ��� �� � )A1&-���� ����� 234# ����� ��

��� �� �� �%�� 3� ��� �� ������� �� ������ ���� ��

��� � �#� ��� ������ �� ������ � 0���� �� ��

�� ������ � �������� �� ������ � ���� �� ������ �

������� �� ������ � � ��1 �� �������� ������ ��� �����

������� ��� ���� ��� � ��#3"%� ���� � ���� ��

������ ���5�� 234#����� 0�� �1����� � ��������

��� �������� � ��� ����� ��������� �� ��� ���

����� ��� �� � �������� � ��������� �������� ��

������ ��� ������ ���� # � �������� �� � ��� ����

�� ��������� � �� � )�7&�� �� ���0���������� ��

�� ������ ������������� �� ������ ������������

�� ������ ����������� ����1 0%23�!4#1 �� ��� ��

��� �� �� ��� ��������� ����� � $�� �������� ��

�� ���5�� ��� ����������� �������5� ��� 0�������

����� ����� ���1 �� ��6����� ����� �� ���������� ��

�� ������ � 0234# +(N �9�1 �������� �� ������ �

0�24# :(N �9�1 ������� �� ������ � 0!84# �:N

�9�1 ��� ������ ���� 0## -N �9�1 0,����� �1�

$�� �� ��� ������ ��� �� ����������� �������5� ��� ��

�� �������� ����� 0�� �1����� � ������� ��� ����

����� ������� ����� ����� ��� �� ��6����� ������

���� ����������� �� � � - �� #��� � .)//)0 ��/�1����))(&

,����� )�

� � ��#5���0�� ����� ���1 �� ��� � ��� �� �� ���

�������� �� ���� �� �� ��� � ������ ������ ����

��� ���� �� �� ��� � �� �������� ��� �� �� �� �� ���

�5�� ��������H ������� ����� �� �� ����� �

�� ��� � 0�� �1����� � �������� �� � ��� ���� ������

��������� �� #� �� �� ���� ��� ��� �� �� ��� <+�= ��

� ������ ������ ���� ��� � �������� �� ���� �� �� �����

������ �������5� ��� �� ������ �� ������ � �������

�� ������� �� �� ���������� � �� <+: ++= ��� ����

�� �������� ����� ��� ������� � ����B�� ������ ��

�� ����������� �������5� ��� ����� �������� �����

����� ��� ������ ���5�� � ����������� ����� ��� ����

����5� ��� <+: ++=� $�� �� ��� ������ 0�� �1����� �

�������� �� ��� ���� ������ ��������� �� 0�� �

��� ����1 ������� ������ ��� �� �� �� �������

����� ������ �� ��� ��������� ��������� ��� ��

����� �� �� �� �� ����� �� ���� � �� �� �� ���� ���

���� 0��� � ��� ��� �� �� �� ��� �� %23�!4#1�

/� ��������� %23�!4# ����� �� ��� ���� ������

��������� � 0���� )1 � ����� � � � �������� ���� ��

�� ���� 0�� �1����� � ������� �� ��� � �������� ���� ���

� �� ��� �� � �� ����� �� ���� 0�����1 �� ���

��� �� �������5� ���� !� � ��� ���� �� ��� �� �����

�� �� ����������� �������5� ��� ������ ��� �� ��������

��� �� �� %23�!4# ��� ��� �� ���� �� �� 234#�����

0�� �1����� � �������� �� �>+ ��������� ��������

��� � �� �� �� ������ � �������� �� ������ �

���� �� ������ � ������� �� ������ � ������ ����

�� ������� ���� � �� ���� �� ������ �������� � ���

�������� �� �� ����������� ����� ��� �������5� ���

����� �� �� ������� ���� <+: ++=� #�������� � ��

���� ��� ��� � � ����� ������� �� �� �� �� �����

�������� � ����������� ��� �� �� ���� ��� ��� ������

%23�!4#H ��������� � �� ������� /� ��� �� �������

�� ��������� ��� ��� ���� ��� � �� �� �� �� �������

������ �� �� �� �� �� ���� �� �� ����� �����

C����� ��� � ���� �� �� ����� �� �� �� �������

���� �� �� ���� �� �� ��� �� �� ���� � �� �������

�� �� ����� �� �� �� �� ���5�� �� ������ ������

���������

���� � ����� � ����� ��������� K���� ������� ���

�� ��� ��� � ������ ������� �� %23�!4#� # �����

�� J#K, ����� ��� � ���� �������� ��� � ����

��6�� ��� ���� ��������� �� � �� � )&�) ��� ��� ���

� ��� ���� �� ���������� ���� �� ��� � � �� � ))�A�

):�( :7�& ��� ++�& ��� ������ ��� �� ���� ������� �� ��

��������� ����� ��� ��� ������� � ��� 0���� ��

�����1 ������ �� �������� ���� ��

$�� ������� ������ ��� �� �� %23�!4# ��

������� � �� ��� �� �� �������� ���� �����

�� �� ��� ���� ����������� � ��� %234# ��� ��

� �� �� �� � ����� �� �� ���� �� ��� ���� ��� !�

��� �� �� �� ��� ��������� ����� ��� ���� �������

��� ��� ������ � ����� ��� ������� �� �� �� �� �� ��

�� �������� � ����� �� ��� $�� ������������ ����

��� � �� �������� � �� �� %234# �� �� ����������

���� ����������� �� � � - �� #��� � .)//)0 ��/�1���� ))(-

,����� ��

���� )� L� ������ ��� ������ ������ �� %23�!4# �� � )&--� � �)�7&�� �� $2��

���� �� J��� ���� K���� ������� ��� �� ��� �� %23�!4#�

�� -(N ��� ��� ������ � 0���� :1� %23�!4# ��� %234#

������� �� �� �� ��� � ��� ��� ���� �+ ��� )++ � ���

����� �� )�+- ��� -�7- � N ������� ��� � �� �� �� ���

����� ����� $��� ��� ��� �� �� ������ ���5��

� �������� ����� ��� � A ���� �� �� �� ��� ����

� � ��� %234#�

���� ������ ���� ����� ��% �3� ������

%23�!4# ��� � ������� � ��� � ���� ������ ��

0%#L1 �������������� ����6������ ����� � ����

��� �� ��� ������ ��� ��� ���� ��� ��� );: �� ���

������ � ��������� /��� ��� ��� ������ ��� �� �

%#L �� �� ��� : 0/"�:1 �� A 0/"�A1N �9� �� ������

0�(N �9� �� ��� �� � �� �� � �1 ���� �������� ��� ����

� ��������� �������� �� ����� ��� ���� + ����� �� CD

��� �� �� �� ������ ��� �� ��� ������ ��� /"�: ���

/"�A� $�� ��������� � );: �� �� (�A( �� B� �� ��

%23�!4# /"�: ��� /"�A ���� (�)- (�A- ��� (�&;

����� �����

"���� � ��� ����� �� ���� �� ���0���������� ��

�� ������ �1 0%234#1 ������ <::= ���� ������� ��

�� ������� �� ����� � ��� � ���� ������ �� 0�������

����B�� ��� ��������1� �� ��5�� ���� �� ���� ����

����6������ ������ ���� ����� � ������ �� � �� ���

B� ���� �� ������� ��� ������� �������� ���

<+A>+-= �� �������������� ����6������ ����� �

0%#L1 �� ��������� � ������� � ������� ������

�������� 0 ���� ���B�� ��� � ����B�� ���1 �� ������

�� ������ ������� ����� �� ���0���������� �� �� ���

���� �1� $�� ���� ���B�� ��� ���� ��� � ������� � ���

���� ����� �� ������� ����� ��� �� ���������

������� ��� �� � ����B�� ��� 0�� ���1 ����� �� ���

������� �������� ��� � ����� ��������� <:+= ��

���������� ��� �� ���� ������� �� ������ ���

�������� � ���������5� ��� �������� �� ���� �� ��

����� � ��� ������ !� �� ��� �� �� ���� �� ���5��

�� ������� ����� 234#����� � �������� ��� ���

���� 234#H ���� �� �� �� ������ ��� :(N �9� ��

������������ ��� �� ��������� ��� �������

���� ��� ����� ����� ��� ���� � �� ������� �����

�� 234# ���� �� ����� ��� �������� ���������

�������� ��� � ���� ���B�� ��� � ���B�� ��� ���

� ����B�� ��� ���� ��� 0,����� :1� !��������� � �� ��

������ ��� ����� �� �� � ��� 0�� �1����� � �������

��� ����� ���� ������ ��� ��� �� ���������5� ��� ��

����� ��� ��������� �� �� ����� ��� 234# ���� �� ��

���� ��� :(N �9�� �$�!" ���9�� CD ���� ������ ���

�� �������� �� ������ ��������� �������� ����

������ �������� � ���� �� ������ ��� �� ����� ��� ����

���� �� ���� ���� ��� � ���� � ��� ����� ��� �� ��

��������� ��������� �������� � �� ���������

�� � ���� �������� 0������� ���� �� 4, ��������1

�� �� ����� �� �� � � <+7= ���� ����� �� �� 234#�

���� ��������� �������� � ���� �� � � �������

�� ��� ����� ����� �� ������� ��������� ���� ����

#� ��� �� � ��� ���� �� ��� ������ ������� �� ���

��� �� �� ���� �� � �� ���� ���� ��� ������

������ �� �� ��� ����� ������� ��������� ���� ���

�������� �� %234# ��� 234#����� ��������

�� �� �� ��I�� �� � ��� ������� ������ # ��

����� ��� �� ��� ���� � �� ������� ����

� ���B�� ��� ���9�� � ���B�� ��� ��������� ������

������ � �� �� ������� � ������ �� ��� �����

�������� � ����B�� ��� ���� ��� ���� ��� ���� ��� �

�� ��������� �� � � ��� ��� 0������ �����1 �� �� �

$�� ��� �� � ����B�� ��� � ��������� � �� ��� ����B����

����� �������� � ���� ���B�� ��� ��� � ���B�� ���

0"0 ���1� ���B�� ��� � "� ����B�� ���1 ��� �� �� ����� � ����� �

�� �������� � ��� ��� ��� ������ ��� ��� ���� ��� � ��B�

���� ��������� �� ���� �� �� ���� �������� �����

�� �� �� ��������� ���� ��� �� ��� ���� �� � ����

�B�� ���H ��� ���� ��� 0�� ���1 � ����� ��� ���������

���� �� �� ��� ������� $�� ������� ��5�� ���������

���� ��� ���� ����� � ��� �� � ����������� ����

������� � � ������ ��� ����� ���� ;( �� � ))(�� ���

��� ��� ������ ��� :( �' ���� ����� );: �� �������

0�� � ��������� ��� 1�

���� ����������� �� � � - �� #��� � .)//)0 ��/�1����))(7

���� :� !� ����� �� �� �� ��� ����� �� %23�!4# ��� %234#�

���� +� CD���� �� �� (�A( �� B� �� �� %23�!4# ��� �� ���� ���

��� ������ ��� /"�: ��� /"�A�

$�� ��� �������� �������� �� ����� ���� �� ��

����� � ������ � ����� ������� 2���� �� ���

��� �� ���5� ��� �� �� ��������� ����� �� ���� ���

�� �� ��I�� �� �� �� ����� ����� 3� ����� �������

��� � ��� �� ������� �� �� ���� ��� �� � ���� ��

0�"41� !� � ���� ��� ��������� ������ �� ���

�� $4#2 �� �������� ������ �� ���� ���� # � � ��

����� ������ �� ��������� ����� ���� ���� �� ���

��� ��� ���� ��� ��� ����� ���� ��� ��� ��� ���� ��

���� �� ��� ������������ ���� 9������ �� ���� ����

$�� ���� �� ��� �� � ���� �� �� �� ��� ���� ��� ��

���� ��� �� � �� ����� � �� ��� ��� ����� ���� ���

��� � ����� ����� ���������� .� �� ��� ���� ����

�� ���� ���� �� ��� ������� ����� ���������

<+; A(= ��� �� ������ ���� ��� ��� ����� � � ���

�� � �������� ���� �� �������� �"4 ���� �� ��

�������� (�AA �� %234# B� 0���� A1 ��� ���������

�� ��� � ������ ��������� �� �� � �� �� ���

�� �� �������� �� ���������� � ������ ���� �� ���� ���

����� ����� ��������� ���� �� ��� �� $4#2

�� ���� 4��� ��� ������ �� ������ �� ������ �������

�� ���� A � �� �� ��� ������ ��� �� ��A �� ����� �� ��� �

B� ������ �� (�AA ��* ����� ���� ��� ��������� � ��

��� ������� � ��� �� ��� ��������� � � �� �����

������ ������� (��� �� B� ������ ������� # ��

��� ��� �� ����� ��� �� �� ������ �� �� ������� �� ���

������ ��� ����� ��� ��� � � �� ���� ��� �� �� ��

��� �� �� %234# ������� �������� �� �� ��������

0��� � $4#21 �� � �� �������� ���� ��� � �� ���

����� ��� �� � �� ������ ���� ��� �� �� �������

2��� � �� � �� �� ���� �� ���� ������ )( ��� �� �����

��� �� � ���� ����� %234# ��� � ��� ���� � �� �

�� �� ��� ������ �� �������� �� �� �� �����������

# ������ ���� ��� ��� ���� ��� �� �� ��� ��� ��

��� ��������� ��������� ��� � ��������� ��� �� ��

��� ����� �� �� � �� ���� �� ���� �������� �� � ��

���������� ��� H ������ ��� �� ���� ��� �� ��

�������� ��� B�� !� �� ���� �� ���� �� ���5��

�������� �� ���� �� ��� ���� �� ��� ����� ��

������ ��� ����� ���� �� �� �� �� ���� ���� �

���� ����������� �� � � - �� #��� � .)//)0 ��/�1���� ))(;

,����� :�

���������� �������� 0��#3"% �� ,����� )1 ��� ��

�� �� ���������� �� �� ������ � ��� 0�� �1������ ����

0���������� �������� 1� ��� ��� �� �� ��� 234#�����

�������� �� � ��������� ����� �� �� ����� ��

�������� ����� ������� ����� ����� �� ����� �����

��������� ��� ��� � ���� � ��������� ������������

���� & ����� �� �"4 ���� �� �� �������� (�AA ��

%23�!4# B� �� (��& � )(�� ��� (�A� � )(��/ $4#2�

���� �� �������� �"4 ���� ��� ��������� � ������

��������� � �� � � �� ���� �� �� �� ���� ��

����� ��� ��� �� ����� �� ������ �� ������ 0��A1 � ��

�� �� �������� ��� � � �� ����� �� �� ���� � ��

����� ���������� ��� �� �� �� ���� ��� �� ��

�������� ��� ��� ���� ���� :� �� � :; ���������

�� �� ������ � �� �� ��� �� ������ ��� ��������� $��

������� ����� �� 234# �������� 0�� ,����� �1

����� ��� ����� �� �� �� �������� ��� ������ ��

��� �� ��� ����� �� $��� ����� ��� ����� �� ��

�������� ������ �� ��� �� �� ��� ������� �� ��

������ ������ ��� � �� ��������� ���� ��� �� ���

� � �� ��� � ��� 0�� ���1 ����� ���� $�� �"4 ��� 0�����

�� ��� �� �� ����� ��������� �� ��� � ���� �� �

%23�!4#H ������� ����������� �1 �� �� ������

�������� �� � �� �� ����� ���� �� �� �� �� ���

��������� �� �� %23�!4# 0�� ���� :1�

"���� � <A) A�= �� �� �������� ��� �� ��� ��� ��� ��

���� ��� ��� �� ���� ������ ��� �� ����� ������ ��

�� ��������� �� ��� ���� ������ �� ����������� ����

0%������1 �� �� �� � ��������� ������ ��� �� ��� ��

�� �������� ��� ������ � � ������� ����� ��� ���� ��

�� � �� �� �� C��� �� � �� �� ���� �� ����� �� ��

������� ��� ��� �������� �� ���� ���� ��� �� ���

�� �� /"�:� 4��� ����B��� ������ ��� �� )�( ���

)&(�� ���� ������ ��� �� �� ����������� ��� ���� ��

���� -� ! � ������ �� �� ��� ������ ��� �� ������ �

(�+7 �� B� �� �� /"�: ���� ��� ��� � )�( ��� )&(��

�� ���� -( ��� &( ����� �����

# ����� ����� �� �� ���� ��� 0�� �1����� � ���

������ ��� ���� �� � ������� � )�(>)&(�� ���� ) �

� ��� � �� ������� ���� 0%� ����1 � ;A>)((�� ���

� ��� ��� � ��������� �� $4#2 (��& � )(��/ ���

-( � ��� ��� ����� ���� ������� �� �� �@ 0�1 #,4?

);: �� ����� 0,�� ��� �1 0��� �����@ A>-A �' ����

�� � � �� �� A �' ����1 �� 7 �� ,������� ��� �� �� �

������� �� ���6�� ��� ��� ��� 0#");�1 ��� 0�1 ����������

��� A(���D ������ ������� 0,�� ��� �1 0��� �����@

�A>)-A �� ���� �� � � �� �� A �� ����1 �� : �� ����

����� ������ !� � ��� �� �������� �������� ��

���� ������� C���� ��� ����� ��� �� ���������

��� �� ����� � �� -( � ��� ��� ����� ��� ���

����� �� �� ���� 7 ��� ;� $�� ��� ������ ��� 0/"�:

��� /"�A1 � �� ��� ���� �� �� �� ��� ��������� ���

� �������� �� �� ������ �� (�)>(�� �� ��� � ������

������ �� ���������� ��������� �� ���� ������

����� � �� ����� �� ���� �� �"4 ���� /���� ���

�� ����� ����� ��������� ���� � ������ �� ��� ���

�� ������ ��������� � ��� �� �� �� ��� �� ����� ��

�� ���� �� ������� ���� ��� ���

���� 7 ����� ,34 ���������� ��@ 0�1 (�)- 0)�:( ��

���� ����������� �� � � - �� #��� � .)//)0 ��/�1����)))(

���� A� �"4 �� ���������� �� � (�AA �� B� �� �������� %234# ��

$4#2 (��& � )(��/�

���� &� �"4 �� ���������� �� � (�AA �� B� �� �� �������� /"�: ��

(��& � )(�� ��� (�A� � )(�� / $4#2�

���� -� !� ���������� �� �� �������� /"�: ���� ��� �� ��� ���

������� � @ 0�1 )�(�� ��� 0�1 )&(�� 0���� ������ ���� ����� ������

�� �������1�

�� ��1 ��� 0�1 (�)+ �� ��� 0)�A+ �� �� ��1 �� �� /"�A

�� ����� ���� );: �� ������� 0%������@ )�(�� � ���

%� ����@ )((�� � ��� ��� A( �' ����1�

.� �� � ��� ���� � ��� � ��� ����� ���� �� ��� H

������� �� ������ ������ �� �� ��������� �� � �����

��� �� �� ��� ��� � ������� ���� �� �� ��� � ���

������ 0���� ;1� $�� ��� ��� � � ����� ��� �� � �������

���� �� �� �� � �� ��� �� �������� �� (�� �� �����

,34 ���������� �� (�)A �� ��� 0(�&( �� �� ��1 �� ��

/"�: �� ����� ���� � A(���D ������ ������� 0%#8@

)&(�� ) ��� %38@ ;A�� � ��� ��� ))A �� ����1 �

����� �� �� ���� )(�

$�� ����������� �� ���� ��� ��� ������ ��

���� ��� ��� ������ ��� 0/"�1 ���� �� �� ����

234#����� 0�� �1����� � � �������� �� ���� ��

������ %��� ��� ��� �� ������ �� ����� �� �����

��� ����� �� ��� ��� �� ��� ������ ������ �� ��

��� ��������� ������ ������ �� �� �� ���� ��� �� ����

���� ��� ����� ���� �� ���� 0������ ��� ���1 ��� ��

������ ������ � ��� ���������� � �� ��� <A:=� !� ��

�� ������� ��� ������ �������� ���� 0����

������� �� 6���������� ������1 � ����� �� �� ������

��� ���� �����5� ��� �� � ������ ����� ��� ������

�� � �� ������ �� ���� ��� �� ������ ���������

�� �� ���� ������ �� ��� �� ������ ���� $��

������ ����� ��� �� �� �� �������� �� �� ���� ��

�� �� ���� ��� �� �� ��� �� �� %23�!4# 0�� �����

�� /"� ��� ����1 � ��� �� �� �� ���5�� ��� ����

��� ������ ��B���� � �� ��� ����� $�� ���������� �

������ �� �� ��� �� � � ��������� �� ���� /"�: �

B��� �� ����� � � ������ �� ���� ������ ������� ��� ��

�������� ����� ������� ,��B���� � �� ��� ���� �

�������� � �� �� � ��� 0�� �1����� ������ ��� ��

�� �� ��� ��� ��������� �� ���� �� 0%44#1 �� �������

���� ������� ���� ��� ��� ��� CD!!!� � �� �����

�� ��� �� ���� ��� �� ������ ������� ���� � ��

��� ���� ����� �� �� �� ��� �� � � ���� ��������� ��

��� �� � $�� � ����� �� � �� �� /"�: � �� � �� �� ��

%23�!4# 0)7( �� ����)1 �� (�&� �� �� %44#H

���� ����������� �� � � - �� #��� � .)//)0 ��/�1���� ))))

���� 7� ,34 ���������� �� (�)- 0)�:( �� �� ��1 0 ��1 ��� (�)+ �� ���

0)�A+ �� �� ��1 0�� ��1 �� �� /"�A �� ����� ���� );: �� �������

0%������@ )�(�� � ��� %� ����@ )((�� � ��� ��� A( �' ����1�

���� ;� ,34 ���������� �� � ����� �� ��� ��� 0������� ����1 ��������

�� � /"�: 0��� &A �' ����1�

���� )(� ,34 ���������� �� (�)A �� ��� 0(�&( �� �� ��1 �� �� /"�:

�� ����� ���� A(���D ������ ������� 0%������@ )&(�� ) ��� %� ����@

;A�� � ��� ��� ))A �� ����1�

������������ ���� 0:(( �� ����)1� $�� � ����� �� � ��

�� /"�: �� �� ��� � �� �� �� %2,� ���� ���� ���

CD!!!� ��� 0,����� �������1 0)-) �� ����)1 � �����

�� � �� ���� ������ ����� ����� ���� �� ����

��� �������� ��� � � �� � ������ �� �� �� ����� ���

�� ����� �� ���� �� � � ������ ����� ���� ������� �

��� ���� � ���� <A+=� ���� )) ��� �� ����� ��� ��

/"�: ������ ���� ���� �� �� � � �� ��������� �

������ �� ������ � ����� �� ,�& !�% ����� $�� �����

�� ��� ������� �� /"�: ������ ������ �@ 0�1 � ��� ��

�� � �������� �� � ����� ����� 0�1 �� ������� ������

����B�� ��� ����� ������ �� ���� � ����� ��� 0�1

������������ �� �� /"�:H � ����� �� � �� �� �������

�� �� ������ ��� �� ���� ��� ���� �� �� ������

�� �� ��� � ��� ������� �� � ����� �� � �� �� /"�: ��

�������� � �� �� � ������ ��� ��� 0#MA�)+ ����

������ 1 �� 6������� ��� ���������� ������ ���� 0,�&9

�2�: ��� .� ������ ��� ��� �� ��� ������ � ,�9,�.�

�� �� � ��� ��� � ����� �� ���� ����������� ������

��� ����� ����1� # ���� �� $��� ) �� � ����� �� � ��

/"�: ���� ��� ���� ��������� � ��� �� �� ������

��� <3�"#�/"93�"#M � )�&( )�A& )�A: ��� )�&7 �� ,�&9

�2�:0"!31 .�0"!31 .�0!�%1 ��� ,�&0!�%1 ����� ����=

� ����� �� � �� ���� ������ ����� ����� ����

�� ������ �������� �� ��� ����� �� � ����� ����

������� �� ������ ��� ���� � ���� <A+=� �����

�� � �� �� � ���� �� $��� ) ������ � � ������ ����

0��� �� � ���� ��� ��� ��� 1@ ��� ������ �� �� ���� ��

��� ��� �� ����� ��� ��� ���� ��� � ������ ���

� ����� ���������

# ����� �� ������ ���� ����� �� 234#�����

0�� �1����� � �������� ���� �� ����� ������� �

����� � ��� );: �� ���� ��� ��� ������ � �������

��� ����� � �� /"�: ��� �� ���� ��� ����������

� �� (�)>(�� �� ����� ��� ��� ����� ��� �� ����

�� ���5� ��� ���� � �� ����� ���� �� ����� � �������

���� ����� � ��������� ����������� 0���� ��� ��� �

��������� ����� �� � �� ��� ���� � ��1� ,������

������� ��� ��� ������ ���� �� �� ���� ������ ��

�� ���� ������ ������� ����� �� �� 234#�����

�������� ���� ����� �� �� �� ����� � �� �����

� �� ���� ��� ��� ������ ��� ��� ������� � )A- ���

� �����������

0�1 # ���� �� ��� ���� ������ ���������� 0�� �

��� ����1 ���� 0�� �1����� � �������� ���� ��

���������� �� �� ������ � 0234#1 �� �� ���5��

��� ����������� �������5� ��� �� �� ��� 0�����1

����� ������� ����� ����� ���� $�� �� ��� �������

� � ���5���0���� ���� ����� ���1 0��� �� ��1 ��� ��

������ �� ���� � ����� ������ ���� ���� �������

�5� ��� ��� ���� �� �� ����� 0A(N �9� �� �����

���1 �� ��6����� ������ $�� ��� �� �� �� ��������

�� ��� ��������� ��� �� �� ������� ���� �����

�� ��� ���� ���� ����� ��� �� ��������� � ��� ��

���� ������ ��� �� ������� ��� �� ��� ���� ������

���������� �� �0����� �1 ���� �������� <+: ++=�

0�1 234# �� �������� �� � ������ � ��� 0�� �1����� �

������� ��� � �� �� �� ������ � �������� �� ���

���� � ���� �� ������ � ������� �� ������ � ������

���� ��� �� ������� ���� �� � ���� ����� �� ������ ���

����� �� ��� %23�!4# �� � )&--� � � )�7&�� � ����

�� ������ �� �� �������� ����� 234#����� ������

��� �� �������� ��������� � �� �������� �����

�������5� ��� �������� �� ���������� �� �� ������ �

0234#1 ������� �� ������ � 0!84#1 ��������

�� ������ � 0�24#1 ��� ������ ���� 0##1 �� � +(9:(9

�:9- ����� �� ��� $�� �� ���5�� 0�� �1����� � ������

��� ��� �� ��� ��� �� ������� ��� �� ���� ��� ��� ����

������ ��� ��� ��� ���� �� �� ��������� �� ����

234#����� ���������� ��� ��� � ������ ��� �����

����� �� ����� 8� � �� �������� ����� �������� ���

��������� ���������� ��� ��� � ������ ��� �������

��� ��� ���� � �� � %23�!4#H ����� �

�� ������� ���� ��������� ����� �� ������� ����

�� ��� �� ��������� �� �� ���5�� ��� ������ ���

��� );: �� � �� � ��� � ��� ������� � �� ������

��������

0�1 # ���� ��� ��� �� ���� ������ �� ���� �� ��� ��

�������� %23�!4# ��� � ������� � ��� � ����

������ �� ��� �� ���� ����������� ���������� ��

���� ����������� �� � � - �� #��� � .)//)0 ��/�1����)))�

���� ))� "���� ��� �� �� ������ �� /"�: ������� �� �� � � �� ��

������� � ������ �� ������ ,�& ���� � ����� �� �� !�% ���� ��

0)( �$��� 7(( J �)(( D1�

$��� )

3 �� �� � �� �� /"�: ��� #MA�)+ �� "!3 ��� !�% ����

"�� %��� ������ ���

,�&9�2�:

0"!31

0��9���1

.�

0"!31

0��9���1

.�

0!�%1

0��9���1

,�&

0!�%1

0��9���1

#MA�)+ )�A )&( &:( �(�

/"�: �(( �A( ;&& :+(

������ ���� �� 0���������� ��������� ��������

� �� ��� ���� ���(�� �� ���� ���1�

0�1 �"4 ���� ��� � ��������� ��� ����� �� ��

�� �� ��� � ������ ��� �������� 0���� $4#2

(��& � )(��/1 ���� �� �� � ��� ��� �� ��� � �� ���� ��

�� �� ������ � �������� ��� ���� �� �� ������ ������

�� �� �������� ��� ��� B�� ��� �� 8�� 434, <:->+)=�

�������� �������

L��� ���� �� 3������� C���� <3,%"!$ O::A&�

G"3,!,$ );:�)A-H ���I�� = ��� ���� �� L���� 4��� ��

�� !��� �� 3����� ��� $�������� 0L����� ,���� ����

�� "������ ��� $��������1 �� ����� �� �� ���� ���

��� ���� ������������ $�� �� ��� ��� � ���� �� P��

"�Q�� ��� �� 4������ 3����� <!43� 0!� ���������� �

4���� 3�� ����� ��� ��1 ?����� 08�����1= � �� �

�� 8������ � 4�� ��� 0,$ 4������� ����� ����

������1 ��� ���� �� ���� �� � );: �� ��������

����������

<)= "�������� 3 /����� . 2������ �4� #�� ���� "�

);;;*:�@&A;�

<�= ! � 2� %��� ,%!3 );;;*:&-7@��

<:= #����� L 8��� ' ����� J�� "��� L L���������� D %� � ,

4��� � %���5 L� %��� ,%!3 �(((*:;;;@:��

<+= !��� , /����� P 4���� P 2������ 3� %��� ,%!3

);;7*+)-@::::�

<A= /�� � $ $������� 4 .���I� $ ,���� 4� %��� ,%!3

);;7*A(:@::::�

<&= 2��� 2 !��� $ /������� $� %��� ,%!3 );;;*&-&@:&-7�

<-= 2� ��� $ $������ R R������� R .�5��� 2 4������ $

R�������� # ,������� 2� %��� ,%!3 );;;*+))@:&-7�

<7= ��� , 2����� #D 8��� ' J��� �L� %��� ,%!3 �(((*:;;;@&��

<;= "��� �� 3 3��� P 2��� , P�Q�� 3 ,���� 4 ,����� /� %��� ,%!3

�(((*:;;;@&��

<)(= "������������� %� 2������� �� ������ �������� ��������������

��� ������� ���� ,%!3 );;-� �� -+>7��

<))= ��I��� � 4 2����� � $ C������� $ 4� ��� , P���� P� %���

,%!3 );;-*-:;@:(A)�

<)�= J��� �L� !� ����� ��� � ������ ��������� !�@ $������ ?�

J��� �L 8����� 4' ��� ��� #�, ��������� ���������

����� J����� �� ��@ #������� ������� ,���� � );;+� �� ):;>

�&-�

<):= .����� R 4�5��� 4 L���� 2 ��I����� ,� ' D�� ,�� $�����

);7)*);0+1@))+)�

<)+= L���� 2 3�� , .����� R� ' 3�� ������ ,�� );7:*):(0)1@)+:�

<)A= P��5 " %��� ��� ,� ��� � #" #�� "� J����� L4 ��%�� ��

"# 2���� ��� %��� ,%!3 );;&*�-�+@:&A�

<)&= #�� "� .�� 5 ' ! � 2 J��� $! ������ �D ��%�� �� "#

8���� % 8��� � L ,������������� " ?���� �3 2���� ��

D������ %" /����� �� #4 '�������� , D����� " "���� �

,�� ,� %��� ,%!3 );;;*:&-7@&&�

<)-= C���������� $ /�� � $ #����� P ,���� / /���� / $��� $�

4������� ��� $��� #�, ,��� ,�� );;A*&)+@�:;�

<)7= #��� � % D�������� 4# L������ 3 $���� 3 2� 5��� 4

P��� M ����� #�� 4������� ��� 3���� );;7*+)9+�@:AA�

<);= #�� "� J����� L4 2������ J� ����� J3 P��5 ""� ,���

, � � $����� );;:*))@A:�

<�(= /���� 4 /�� � $ #����� P 2���� # ,���� / C���������� $�

%��� ,%!3 );;A*�+:7@++A�

<�)= #�� "� J����� L4 ��%�� �� "# 2���� �� P��5 ""� %���

,%!3 );;A*�+:7@+-+�

<��= L���� #2 %��� � ?� .��� �P� ���� 4� �� );;&*7@��7A�

<�:= ! ��� $ R����� 2 $���5��� 4 R����� 4 $����� 2 P���� P�

%��� ,%!3 );;;*:&-7@:(&�

<�+= 2������ �4 J��� $! /����� . "�������� 3� 4��������

��� );;-*:(@&A)-�

<�A= 8��� '� ,�������� $ J��� �L� ���� 4� �� );;7*)(@::�7�

<�&= '��� '�� 8��� P�2� %��� ,%!3 );;7*::::@));�

<�-= "����� !? 2������ �4 P��� ��� '4 2� �� ", $���� #L

"�������� 3 /����� . L���� #2 4����� #/ ,� �� ,L

/���� 4� %��� ,%!3 );;;*:&-7@++�

<�7= "����� 4� 8�� '�8 ���� 4 ������ �? P��� $ P�� J�P

%��������� 4 ����� ""� %��� ,%!3 �(((*:;;;@��(�

<�;= ����� "" 8�� '8 P�� JP P��� $ 4�P��5�� �

%��������� 4 "����� 4�� %��� 4� �� ,�� 3���� �(()*7+@�7:�

<:(= "�������� 3 2������ �4 /����� . /����� $K� ���� 4� ��

);;)*:@:;+�

<:)= 4������ ,# J��� �L ������ '4� #�� ���� "� );;+*�-@)A)�

<:�= ������ '� ,��� ,R� ���� 4� �� );;&*7@:-&�

<::= #��� � % D�������� 4# L������ 3 $���� 3 "�� � !� L"

�� �� )((:+�(9()�(;�((�

<:+= "�� � ! D���� � � D�������� 4# #��� � %� 4������� ���

3���� �(((*A:@A7;�

<:A= ���������� �� "�� � ! $����� # #��� � %� 4������� ���

3���� �(()*A->A7@A:;�

<:&= ����� ,%# ?���� �� " %������ 4� , ���� ? ?� #$ ,�� ��

,������ );;)*�A)@-&-�

<:-= $������ 4 P�� C'� #�� ���� );;)*&:@:;:#�

<:7= 4�L� L ?������ ' 8���� % J����� L /����� $ 2������ J�

%��� /� #��� ,�� C,# );;&*;:@):AA�

<:;= 4����� P P������� ,3� 8���� 8����� ��� );;7*):@7�A�

<+(= ����� # #��� � % 4����� P ���� ���� � %� ��� %, P������

�� ,3� 8���� 8����� ��� �(() �� ����

<+)= ������� �' 2��� 44 $��� 24 ?�� PJ� 4����������

);;A*�7@+�:+�

<+�= L��� "#� ' ��� $����� );7A*A-0-�71@7:�

<+:= ���������� �� K� S '��� �/ 8�������� ' J� ?� ' ���

$����� �(((*-�0;(71@&)�

<++= ���������� �� J� ? K� S '��� �/ 8�������� '� %��� 4� ��

,�� 3���� �(((*7�@);�

<+A= 2����� /% ?��� �D ��� �� '?� 4� ��� ?�� ��� );;(*)7:@A(A�

<+&= ������ 'D ?�� '2J� ' .�� ���� );-7*+:@:(AA�

<+-= ������ 'D ?�� '2J� ' %��� ,�� %��� ���� 3� );-;*)-@;--�

<+7= D�������� 4# #��� � % "�� � ! 8��� 5� ,� C��������

��� �

<+;= ������� ", L����� 'J� 3�� %��� ' );7�*)7@+7-�

<A(= P����� � P �� �� ,��� , � � 3�� ��� );-�*)A@:-)�

<A)= "�� � !� 4������� ��� 3���� �(()*A->A7@A�A�

<A�= "�� � !� '�� ' #�� %�� �(()*+(@A:)(�

<A:= ���� �4 P� $4 2������ 2� ,��� ,�� "�� );;&*�+@)�

<A+= /�� � $ #����� P ,���� / C���������� $ /���� 4� '�� ' #��

%�� );;+*::@-(�7�

���� ����������� �� � � - �� #��� � .)//)0 ��/�1���� ))):


Recommended