低発塵仕様 2色表示式デジタルフロースイッチ

●発塵特性（参考データ）

●仕様

●接流体部金属材質：SUS304PFM710-X300パーティクル特性（0.10µm over）

経過時間［min］

発塵量［個

/L］

0 10 20 30 40 50

20

10

060 70 80 90 100 110 120

〈用途例〉クリーンルーム環境下でのクリーンエアブローの流量管理

0.2～10L/min PFM710-X3000.5～25L/min PFM725-X3001～50L/min PFM750-X300

2～100L/min PFM711-X300

2～200L/min PFMB7201-X300

※ ブローされる場合は、周辺空気の巻込みによるワークの汚染にご注意ください。

超音波洗浄 接流体金属部：管継手、オリフィス、メッシュ

脱脂処理 ボディ、Oリング

エアブロー 流路内エアブロー※

クリーン梱包 帯電防止袋（二重包装）

※Class10000クリーンルーム内でClass100のエアにて

シリーズ

PFM710-X300

PFM725/750/711-X300

PFMB7201-X300

1 20.2 0.5 10 50 100 200

定格流量レンジ［L/min］

5

1 50

2 100

2 200

0.2 10

設定最小単位検出方式適用流体

熱式（MEMS）

乾燥空気N2

アルゴンCO2

乾燥空気N2

熱式（MEMS）

分流式

表示部反転機能

なし

管接続口径（Rc）

0.1L/min

0.01L/min 1/8

1/8

1/8

1/4

1/41L/min

0.5 25

RoHS

INFORMATION

’16-681

PFM7/PFMB7-X300A

清浄空気源 CLASS100クリーンベンチ

エアタンク ミストセパレータ

0.3MPa

試験サンプルインレット

レーザダストモニタサンプリング管基準流量計

0.01μmフィルタ

絞り

クリーンレギュレータ

〔試験方法〕試験サンプル後段にサンプリング管を設置し、発生した粒子をレーザダストモニタにて測定します。

〔測定条件〕

使用計測器名称 光散乱式自動粒子計測器

最小可測粒径 0.1μm吸入量 28L/min

設定条件サンプリング時間 1minインターバル時間 4minサンプリング空気量 28L

※パーティクル測定中の流量は100L/min、PFM710のみ30L/min。

測定方法

PFM7/PFMB7-X300発塵特性

PFM710-X300パーティクル特性（0.10μm over）

経過時間［min］

発塵量［個/L］

0 10 20 30 40 50

20

10

060 70 80 90 100 110 120

PFMB7201-X300パーティクル特性（0.10μm over）

経過時間［min］

発塵量［個/L］

0 10 20 30 40 50

40

30

20

10

060 70 80 90 100 110 120

PFM711-X300パーティクル特性（0.10μm over）

経過時間［min］

発塵量［個/L］

0 10 20 30 40 50

20

10

060 70 80 90 100 110 120

発塵特性（参考データ）

1

PFM X300107 A M01定格流量範囲：0.2〜100L/min

型式表示方法

管接続口径

記号 内容流量レンジ

10 25 50 1101 Rc1/8 ● ● ●02 Rc1/4 ●

定格流量範囲（流量レンジ）10 0.2〜10（5）L/min25 0.5〜25（12.5）L/min50 1〜50（25）L/min11 2〜100（50）L/min※（　）は流体CO2の場合

出力仕様OUT1 OUT2

A NPN NPNB PNP PNPC NPN アナログ1〜5VD NPN アナログ4〜20mAE PNP アナログ1〜5VF PNP アナログ4〜20mAG NPN 外部入力注）H PNP 外部入力注）

注）�積算外部リセット、オートシフト、オートシフトゼロ選択可能です。

ZS 3310 R連数

DINレール取付金具（別途手配品）

1 1連2 2連3 3連4 4連5 5連

オプション2無記号 R

なし

ブラケット（流量調整弁なし用）10-ZS-33-M

付属のタッピングねじ

Tパネルマウントアダプタ（流量調整弁なし用）10-ZS-33-J

注）�オプションは製品に組付けられていません。同梱出荷となります。オプション単体が必要な場合はオプション2／部品品番をご参照ください。

取付金具

パネルマウントアダプタB

パネルマウントアダプタA

パネル

・DINレールはお客様にてご用意願います。

オプション2／部品品番オプション 品番 数量 備考ブラケット 10-ZS-33-M 1 タッピンねじ（3×6）2本付

パネルマウントアダプタ 10-ZS-33-J 1

オプション 1／部品品番オプション 品番 数量 備考

コネクタ付リード線 10-ZS-33-D 1 リード線：2mゴムカバー（シリコーンゴム）10-ZS-33-F 1 コネクタ部用

単位仕様M SI単位固定注1）

無記号 単位切換機能付注2）

注1）固定単位　�瞬時流量：L/min�積算流量：L

注2）�新計量法上（日本国内はSI単位）、海外向けのみの販売となります。

取扱説明書無記号 取扱説明書付（和英併記）

N 取扱説明書なし

校正証明書無記号 校正証明書なし

A 校正証明書付※�書式は和英併記のみです。和英以外の言語は特注となります。

12

S

IN

リード線長さ2m

12

S

IN

リード線長さ2m

オプション1無記号 W

コネクタ付リード線（2m） コネクタ付リード線（2m）＋

コネクタ部用ゴムカバー（シリコーンゴム）

Z 注）�オプション単体が必要な場合はオプション1／部品品番をご参照ください。コネクタ付リード線なし

10-ZS-33-D10-ZS-33-F

10-ZS-33-D

2

2色表示式デジタルフロースイッチ PFM7-X300低発塵仕様

フロースイッチ共通注意事項につきましてはホームページWEBカタログを、製品個別注意事項につきましては当社ホームページの「取扱説明書」をご確認ください。

型式 PFM710-X300 PFM725-X300 PFM750-X300 PFM711-X300

適用流体 乾燥空気、N2、Ar、CO2（空気の品質等級はJIS B8392-1 1.1.2〜1.6.2、ISO8573-1 1.1.2〜1.6.2）

定格流量範囲（流量レンジ）

乾燥空気、N2、Ar 0.2〜10L/min 0.5〜25L/min 1〜50L/min 2〜100L/minCO2 0.2〜5L/min 0.5〜12.5L/min 1〜25L/min 2〜50L/min

表示可能範囲注1）乾燥空気、N2、Ar 0.2〜10.5L/min 0.5〜26.3L/min 1〜52.5L/min 2〜105L/minCO2 0.2〜5.2L/min 0.5〜13.1L/min 1〜26.2L/min 2〜52L/min

設定可能範囲注1）乾燥空気、N2、Ar 0〜10.5L/min 0〜26.3L/min 0〜52.5L/min 0〜105L/minCO2 0〜5.2L/min 0〜13.1L/min 0〜26.2L/min 0〜52L/min

設定最小単位注2） 0.01L/min 0.1L/min 0.1L/min 0.1L/min積算パルスの流量換算値 0.1L/Pulse 0.1L/Pulse 0.1L/Pulse 1L/Pulse

表示単位注3） 瞬時流量　L/min、CFM×10-2

積算流量　L、ft3×10-1

精度 表示精度：±3％F.S. （流体：乾燥空気にて）アナログ出力精度：±5％F.S.

繰返し精度 ±1％F.S. （流体：乾燥空気にて）アナログ出力：±3％F.S.圧力特性 ±5％F.S.（0.35MPa基準）

温度特性 ±2％F.S.（15〜35℃）±5％F.S.（0〜50℃）使用圧力範囲 −100kPa〜750kPa定格圧力範囲 −70kPa〜750kPa耐圧力 1MPa積算流量範囲 最大999999L注4）

スイッチ出力 NPNまたはPNPオープンコレクタ出力最大負荷電流 80mA最大印加電圧 DC28V（NPN出力時）内部降下電圧 NPN出力：1V以下（80mA時）　PNP出力：1.5V以下（80mA時）応答時間 1s（50ms、0.5s、2sを選択可能）出力保護 短絡保護

積算パルス出力 NPNまたはPNPオープンコレクタ出力（スイッチ出力と同じ）

アナログ出力注5）

応答時間 1.5s以下（90％応答）

電圧出力 出力電圧：1〜5V出力インピーダンス：1kΩ

電流出力 出力電流：4〜20mA最大負荷インピーダンス：600Ω、最小負荷インピーダンス：50Ω

応差注6）ヒステリシスモード 可変ウインドコンパレータモード 可変

外部入力 無電圧入力（有接点または無接点）　入力30ms以上表示方式 3桁7セグメント表示器　2色表示（赤色/緑色）　更新周期：10回/1s動作表示灯 OUT1：ON時点灯（緑色）、OUT2：ON時点灯（赤色）電源電圧 DC24V±10％消費電流 55mA以下

耐環境

保護構造 IP40使用流体温度 0〜50℃（凍結および結露なきこと）使用温度範囲 動作時：0〜50℃　　保存時：−10〜60℃（凍結および結露なきこと）使用湿度範囲 動作時、保存時　35〜85％R.H.（結露なきこと）耐電圧 AC1000V、1分間　充電部一括と筺体間絶縁抵抗 50MΩ以上（DC500Vメガにて）充電部一括と筺体間

規格 CE、UL（CSA）、RoHS接流体部主材質注8） LCP、PBT、HNBR、FKM、Si、Au、SUS304質量 ストレート：70g清浄度クラス（ISOクラス） クラス4

注1）10L/minタイプにて最小設定単位0.01L/minを選択した場合は、表示上限「9.99L/min」となります。100L/minタイプにて最小設定単位0.1L/minを選択した場合は、表示上限

「99.9L/min」となります。注2）PFM710は0.01L/minと0.1L/min、PFM711は0.1L/minと1L/minが選択で

きます。表示単位にてCFMを選択した場合は、設定最小単位の変更はできません。工場出荷時、PFM710は0.1L/min、PFM711は1L/minに設定されています。

注3）製品出荷時は〈ANR〉です。〈ANR〉とは標準状態を表し20℃、1atm、65％R.H.を基準としています。NL/minとは基準状態を表し0℃、1atmを基準としています。単位切換機能付の場合（単位切換機能がないタイプにつきましては、SI単位

（L/minまたはL）に固定されます）。

注4）電源OFFでクリアします。保持機能を選択することが可能です（2分間隔もしくは5分間隔で選択可能）。5分間隔を選択した場合、記憶素子（電子部品）の寿命100万回（24時間通電の場合、5分×100万回＝500万分＝9.5年）が限度となりますので、保持機能を使用する場合は使用条件から寿命を計算し寿命の範囲内でご使用ください。

注5）1.5s（90％）と設定されており、100msの選択も可能です。注6）出荷時はヒステリシスモードになっています。押しボタン操作によりウインド

コンパレータモードを選択することができます。注7）配線およびねじの規格につきましては、当社ホームページ

（http://www.smcworld.com）より取扱説明書の内容をご確認ください。注8）詳細はP.8「接流体部構造図」をご参照ください。注9） 品質向上に努めておりますが、性能上支障のない外観の僅かなキズ、表示色、

輝度むら等は良品としております。

仕様／PFM7-X300

3

PFM7-X300

PFMB X3002017 A M02定格流量範囲：2〜200L/min

型式表示方法

定格流量範囲（流量レンジ）201 2〜200L/min

配管口径02 Rc1/4

出力仕様OUT1 OUT2

A NPN NPNB PNP PNPC NPN アナログ1〜5VD NPN アナログ4〜20mAE PNP アナログ1〜5VF PNP アナログ4〜20mAG NPN 外部入力注）H PNP 外部入力注）

注）�外部からの信号入力により積算流量値、ピーク流量値、ボトム流量値をリセットすることができます。

ZS 3310 R連数

DINレール取付金具（別途手配品）

1 1連2 2連3 3連4 4連5 5連

ブラケット無記号 R

なし

ブラケット10-ZS-33-M

タッピンねじ2ヶ付属

Tパネルマウントアダプタ10-ZS-33-J

注）�ブラケットは製品に組付けられていません。同梱出荷となります。ブラケット単体が必要な場合はブラケット／部品品番をご参照ください。

取付金具

パネルマウントアダプタB

パネルマウントアダプタA

パネル

ブラケット／部品品番オプション 品番 数量 備考ブラケット 10-ZS-33-M 1 タッピンねじ（3×6）2本付

パネルマウントアダプタ 10-ZS-33-J 1

リード線／部品品番オプション 品番 数量 備考

コネクタ付リード線 10-ZS-33-D 1 リード線：2mゴムカバー（シリコーンゴム）10-ZS-33-F 1 コネクタ部用

校正証明書無記号 校正証明書なし

A 校正証明書付※�書式は和英併記のみです。和英以外の言語は特注となります。

単位仕様M SI単位固定注1）

無記号 単位切換機能付注2）

注1）固定単位　�瞬時流量：L/min�積算流量：L

注2）�新計量法上（日本国内はSI単位）、海外向けのみの販売となります。

S

IN

S

IN

リード線無記号 W

コネクタ付リード線（2m） コネクタ付リード線（2m）＋

コネクタ部用ゴムカバー（シリコーンゴム）

N 注）リード線単体が必要な場合はリード線／部品品番をご参照ください。コネクタ付リード線なし

10-ZS-33-D10-ZS-33-F

10-ZS-33-D

・DINレールはお客様にてご用意願います。

4

2色表示式デジタルフロースイッチ PFMB7-X300低発塵仕様

注1）Best Pneumaticsにある「推奨空気圧回路例」をご参照ください。注2）積算保持機能を使用する場合は、使用条件から寿命を計算し、寿命の範囲

内でご使用ください。記憶素子（電子部品）のアクセス回数限界は100万回です。24時間通電状態の場合、寿命は次のようになります。

　　　　・5分間隔：5分×100万回＝500万分＝9.5年　　　　・2分間隔：2分×100万回＝200万分＝3.8年

積算外部リセットを繰返し入力した場合、寿命は計算で求めた年月より短くなりますのでご注意ください。

注3）製品のOUT側配管ポート部を未配管状態で直接大気開放しないでください。大気開放で使用した場合は、精度が変動する場合があります。

注4）流量が0から定格流量範囲の最大値へ瞬間的に変化（ステップ入力）したと仮定した場合、設定値が定格流量範囲の90％に設定してある時に、流量が変化してからスイッチ出力がON（OFF）するまでの時間です。

注5）流量が設定値付近で変動する場合、変動幅以上の設定幅を設けないとチャタリングが発生します。

注6）アナログ出力付の製品をご使用の場合です。注7）流量が0から定格流量範囲の最大値へ瞬間的に変化（ステップ入力）したと

仮定した場合、流量が変化してからアナログ出力の変化量が90％に達するまでの時間です。

注8）外部入力付の製品をご使用の場合です。注9）仕様に記載している流量は、標準状態の値です。注10）単位切換機能付の製品をご使用の場合に設定できます。注11）詳細はBest Pneumatics「直管長と精度について」をご参考ください。注12）詳細はP.8「接流体部構造図」をご参照ください。注13） 品質向上に努めておりますが、性能上支障のない外観の僅かなキズ、表

示色、輝度むら等は良品としております。

型式 PFMB7201-X300

流体適用流体注1） 乾燥空気、N2（空気の品質等級はJISB8392-1　1.1.2〜1.6.2、ISO8573-1 1.1.2〜1.6.2）流体温度範囲 0〜50℃

流量仕様

検出方式 熱式定格流量範囲 2〜200L/min

設定流量範囲瞬時流量 2〜210L/min積算流量 0〜999,999,999L

設定最小単位瞬時流量 1L/min積算流量 1L

積算パルスの換算値（パルス幅＝50ms） 1L/pulse積算保持機能注2） 2分間隔、5分間隔より選択

圧力仕様定格圧力範囲 0〜0.75MPa耐圧力 1.0MPa圧力特性注3） ±5％F.S.（0〜0.75MPa、0.35MPa基準）

電気仕様電源電圧 DC12〜24V±10％消費電流 55mA以下保護 逆接続保護

精度注11）

表示精度 ±3％F.S.アナログ出力精度 ±3％F.S.繰返し精度 ±1％F.S.（応答時間0.05s選択時は±2％F.S.）温度特性 ±5％F.S.（0〜50℃、25℃基準）

スイッチ出力

出力形式 NPNオープンコレクタ　PNPオープンコレクタ出力モード ヒステリシスモード、ウインドコンパレータモード、積算出力モード、積算パルス出力モードより選択スイッチ動作 正転出力、反転出力より選択最大負荷電流 80mA最大印加電圧（NPNのみ） DC28V内部降下電圧（残留電圧） NPN出力タイプ：1V以下（負荷電流80mA時）　PNP出力タイプ：1.5V以下（負荷電流80mA時）応答時間注4） 0.05s、0.1s、0.5s、1s、2sより選択応差注5） 0から可変保護 短絡保護

アナログ出力注6）

出力形式 電圧出力：1〜5V、電流出力：4〜20mA

インピーダンス電圧出力 出力インピーダンス約1kΩ電流出力 最大負荷インピーダンス 電源電圧24V時：600Ω 電源電圧12V時：300Ω

応答時間注7） スイッチ出力の応答時間と連動

外部入力注8）外部入力仕様 入力電圧：0.4V以下（有接点または無接点）、入力時間：30ms以上入力モード 積算外部リセット、ピーク・ボトムリセットより選択

表示

表示単位基準注9） 標準状態、基準状態より選択表示モード 瞬時流量表示、積算流量表示より選択

単位注10）瞬時流量 L/min、cfmより選択積算流量 L、ft3より選択

表示可能範囲瞬時流量 −10〜210L/min（−1〜1L/minは［0］と表示）積算流量 0〜999,999,999L

表示最小単位瞬時流量 1L/min積算流量 1L

表示部 表示方式：LED　表示色：赤色・緑色　表示桁数：3桁7セグメント動作表示灯 スイッチ出力ON時点灯（OUT1：緑色、OUT2：赤色）

耐環境

保護構造 IP40耐電圧 AC1000V 1分間 充電部一括と筐体間絶縁抵抗 50MΩ以上（DC500Vメガにて） 充電部一括と筐体間使用温度範囲 動作時：0〜50℃、保存時：−10〜60℃（結露および凍結なきこと）使用湿度範囲 動作時・保存時：35〜85％RH（結露および凍結なきこと）

規格 CE、UL（CSA）、RoHS

配管配管仕様 Rc1/4配管取出方向 ストレート

接流体部主材質注12） FKM、SUS304、PPS、PBT、HNBR、Si、Au、GE4F質量 Rc1/4, ストレート：70g清浄度クラス（ISOクラス） クラス4

フロースイッチ共通注意事項につきましてはホームページWEBカタログを、製品個別注意事項につきましては当社ホームページの「取扱説明書」をご確認ください。仕様／PFMB7-X300

5

PFMB7-X300

センサ流量レンジ

-10L/min 0L/min 0.2L/min0.5L/min 1L/min 2L/min 10L/min 25L/min 50L/min 100L/min 200L/min

PFM710

PFM725

PFM750

PFM711

型式流量レンジ

-10L/min 0L/min 0.2L/min0.5L/min 1L/min 2L/min 10L/min 25L/min 50L/min 100L/min 200L/min

PFMB7201

A

B

C

0定格流量範囲の最小値

定格流量範囲の最大値

流量

出力

定格流量範囲 設定流量範囲 表示流量範囲

定格流量範囲 表示可能範囲 設定可能範囲

2L/min

2L/min−10L/min 210L/min

210L/min

200L/min

流量／アナログ出力A B C

PFM7-X300電圧出力 1V ― 5V電流出力 4mA ― 20mA

PFMB7-X300電圧出力 1V 1.04V 5V電流出力 4mA 4.16mA 20mA

PFM7-X300

PFMB7-X300

型式 定格流量範囲の最小値［L/min］定格流量範囲の最大値

［L/min］

PFM710-X300 0.2 10（5）PFM725-X300 0.5 25（12.5）PFM750-X300 1 50（25）PFM711-X300 2 100（50）PFMB7201-X300 2 200※（　）は流体CO2の場合注）PFM7-X300でCO2選択時の最大定格流量値でのアナログ出力は、電圧出力タイプで3［V］、電流出力タイプで12［mA］となります。

定格流量範囲内の値で流量設定を行ってください。設定可能範囲とはスイッチで設定可能な流量範囲のことです。定格流量範囲とはスイッチの製品仕様（精度、直線性等）を満足する流量範囲のことです。定格流量範囲を超えた値でも設定可能範囲内であれば設定できますが仕様を保証するものではありません。ご使用流体がCO2の場合は、（　）内流量範囲となります。

0

50L/min（25L/min）

52.5L/min（26.2L/min）

52.5L/min（26.2L/min）

1L/min

1L/min

0

100L/min（50L/min）

105L/min（52L/min）

105L/min（52L/min）

2L/min

2L/min

設定可能範囲と定格流量範囲について

0.2L/min

0

10L/min（5L/min）

25L/min（12.5L/min）

0.2L/min

10.5L/min（5.2L/min）

26.3L/min（13.1L/min）

10.5L/min（5.2L/min）

26.3L/min（13.1L/min）

アナログ出力

0.5L/min

0

0.5L/min

6

2色表示式デジタルフロースイッチ PFM7/PFMB7-X300低発塵仕様

茶 DC（＋）

黒 OUT1

白 OUT2

青 DC（－）

U

U

負荷

負荷

DC12～24V

主

回

路

茶 DC（＋）

黒 OUT1

白 OUT2

青 DC（－）UU

負荷

負荷

DC12～24V

主

回

路

茶 DC（＋）

黒 OUT1

白 アナログ出力

青 DC（－）

U

負荷

負荷

DC12～24V

主

回

路

茶 DC（＋）

黒 OUT1

白 アナログ出力

青 DC（－）

U

負荷

負荷

DC12～24V

主

回

路

茶 DC（＋）

黒 OUT1

白 外部入力

青 DC（－）

U

U

負荷

DC12～24V

主 回 路

茶 DC（＋）

黒 OUT1

白 外部入力

青 DC（－）

U

U

負荷

DC12～24V

主

回

路

Max.28V、80mA

黒 OUT1

白 OUT2（ｰAのみ）

青 DC（－）

負荷

負荷

Max.80mA

茶 DC（＋）

黒 OUT1

白 OUT2（ｰBのみ）

負荷

負荷

0V

50ms 50ms

0V

50ms 50ms

または または

内部回路と配線例

ｰANPN（2出力）

最大印加電圧：28V、最大負荷電流：80mA、内部降下電圧：1V以下

ｰGNPN（1出力）＋外部入力

最大印加電圧：28V、最大負荷電流：80mA、内部降下電圧：1V以下外部入力：入力電圧0.4V以下（有接点または無接点）、30msec.以上

ｰC/DC：NPN（1出力）＋アナログ電圧出力D：NPN（1出力）＋アナログ電流出力

最大印加電圧：28V、最大負荷電流：80mA、内部降下電圧：1V以下C：アナログ出力：1〜5V出力インピーダンス：1kΩ

D：アナログ出力：4〜20mA最大負荷インピーダンス：600Ω

ｰBPNP（2出力）

最大負荷電流：80mA、内部降下電圧：1.5V以下

ｰHPNP（1出力）＋外部入力

最大負荷電流：80mA、内部降下電圧：1.5V以下外部入力：入力電圧0.4V以下（有接点または無接点）、30msec.以上

ｰE/FE：PNP（1出力）＋アナログ電圧出力F：PNP（1出力）＋アナログ電流出力

ｰA/C/D/G ｰB/E/F/H

最大負荷電流：80mA、内部降下電圧：1.5V以下E：アナログ出力：1〜5V出力インピーダンス：1kΩ

F：アナログ出力：4〜20mA最大負荷インピーダンス：600Ω

積算パルス出力配線例

7

PFM7/PFMB7-X300

70

17

28

83

13

43

1

18

18

48

2×2.5 深5

OUT1 OUT2

DC（－） DC（＋）

2×管接続口径 2×3.4

IN OUT

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外形寸法図

PFM710/750/711-□-X300PFMB7201-02-X300

製品個別注意事項初期使用時および交換時はフラッシング(エアブロー)を行ってください。配管等を接続した際、接続部等からの発塵の影響を軽減するために初期使用時はフラッシングを行ってください。配管ライン設置時にも配管中が汚染されますので、必ずラインフラッシングを実施した後、本運転に入るようにしてください。また所定の取付部分すべてを固定してご使用ください。

型式 管接続口径（Rc）PFM710 1/8PFM725 1/8PFM750 1/8PFM711 1/4PFMB7201 1/4

接流体部構造図

構成部品番号 名称 材質 備考1 センサボディ PPS2 ガスケット HNBR3 整流メッシュ SUS3044 センサチップ シリコン5 基板 GE4F6 ガスケット HNBR7 整流メッシュ SUS3048 Oリング FKM フッ素コーティング9 Oリング FKM フッ素コーティング

10 配管継手 SUS30411 ボディ PBT12 ガスケット HNBR

構成部品番号 名称 材質 備考1 配管継手 SUS3042 Oリング FKM フッ素コーティング3 Oリング HNBR フッ素コーティング4 整流モジュール SUS3045 ボディ PBT6 センサハウジング LCP7 センサチップ シリコン8 オリフィス SUS3049 パッキン FKM フッ素コーティング

10 メッシュ SUS304

PFMB7-X300

PFM7-X300

8

2色表示式デジタルフロースイッチ PFM7/PFMB7-X300低発塵仕様

安全に関するご注意 ご使用の際は「SMC製品取扱い注意事項」（M-03-3）および「取扱説明書」をご確認のうえ、正しくお使いください。

[低発塵仕様] 2色表示式デジタルフロースイッチ PFM7/PFMB7-X300発塵特性PFM7-X300：型式表示方法仕様

PFMB7-X300：型式表示方法仕様

設定可能範囲と定格流量範囲について、アナログ出力内部回路と配線例接流体部構造図、外形寸法図、製品個別注意事項