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Semiconductor & Display Equipment Manufacturer

Inatech co., ltd.

Inaveyor SystemHybrid Over Head Conveyor System with OHT

2016O-2000 Printed in Korea

Semiconductor & Display Equipment Manufacturer

Head Office/Factory : (Gojan-dong)127B-9LT Namdong Ind. Complex 37, Namdongseo-ro, Namdong-gu, Incheon, Korea Phone:+82-32-819-8651 Fax:+82-32-819-8658

Seoul Office : (Woolim Lions Valley, Gasan-dong) #C-906, 168, Gasan digital 1-ro, Geumcheon-gu, Seoul, Korea Phone:+82-2-2026-0655 Fax:+82-2-2026-0656

Cheonan Factory : 353, Taehaksan-ro, Pungse-myeon, Dongnam-gu, Cheonan-si, Chungcheongnam-do, Korea

http://inatech.co.krinatech@inatech.co.kr

Inatech co., ltd.

Hybrid Over Head Conveyor System with OHT

Inaveyor System 소개Inaveyor는 반도체 전(前)공정에 있어서 FOUP의 이송을 기존의 OHT와 함께

사용하여 효율성 증대(생산성 증대 및 Stocker역할)를 하기 위하여 개발된 Clean

Over Head Conveyor System 입니다. 기존의 OHT를 엘리베이터에 비유하고

수동 Cart를 계단에 비유한다면 본 OHCV는 에스컬레이터의 역할을 한다고 볼 수

있습니다.

본 Inaveyor System을 기본 이송 시스템으로 라인 신규 구축 시에는 Stocker의

역할도 대신할 수 있어서 Stocker의 비용 및 공간 절약, 유기적인 물류 System

구축도 가능합니다. 이를 Spider Net 이송 System이라고 합니다.

본 Inaveyor System은 100% 국내 기술력으로 개발되었으며 인아 그룹의 모든

인프라가 함축되어 있는 System이라고 할 수 있습니다. Hardware와 Software

함께 반도체 하이브리드 반송을 가능하게 하는 OHCV (Over Head Conveyor)

시스템의 Total Solution이 바로 Inaveyor 입니다.

Applications

Inaveyor System 구성

I500

L1000

L1000

T500

L2000

L1000

I500

반도체 고속 Conveyor

4. OHT to AGV/RGV Bridge 5. Bay Assist

1. Inter-bay Shunt 2. Tool Buffer

3. Buffer Stocker Port

Gate

OHTVehicle

Gate Gate

Gate Gate Gate

Stocker 1

(A) (B)

Stocker 3Stocker 2 Stocker 4

Gate

Gate

OHTVehicle

PROCESSTOOL

OHT Pick up point(OUTPUT)

OHT Deposit point(INPUT)

Port

Port

StockerROBOTACCESS

GateOHTVehicle

OHT Deposit point(INPUT)

OHT Pick up point(OUTPUT)

OHT Deposit point(INPUT) OHT Pick up point

(OUTPUT)

OHTVehicle

PROCESSTOOL

PROCESSTOOL

PROCESSTOOL

PROCESSTOOL

Port Port

Port Port

AGVOR

RGV

Exchange Point

Exchange Point

OHTVehicle

STOCKER

PROCESSTOOL

PROCESSTOOL

PROCESSTOOL

PROCESSTOOL

PROCESSTOOL

PROCESSTOOL

STOCKER

Inter-bay Shunt(선로변경)의 목적은 Inter-bay를 활용하여 OHT Vehicle의 활용을 증가시

킨다. OHT를 따라서 Vehicle들이 Stocker를 반 시계방향으로 순환한다. FOUP (A)와 (B)를

목적지까지 운송하기 위해서는 Vehicle이 두 바퀴를 돌아야 하지만, Inaveyor의 활용으로 한 바

퀴 만에도 두 개의 FOUP을 목적지까지 운송할 수 있게 된다. 이로 인해 시간절약 및 Vehicle의

활용 율을 높여 유지 보수 기간을 연장 시킬 수 있다.

OHT to AGV/RGV Bridge는 OHT Vehicle로부터 자동적으로 AGV/RGV에 FOUP을

Buffering 역할을 하며 공급해 준다. 이로 인해 AGV/RGV가 Stocker ports에서 기다리는

시간을 없애줌으로써 효율성이 증가된다.

상당히 높은 처리 능력의 Inaveyor 구성이다. 기존 OHT만으로는 하나의 Vehicle만 정체 되어도

모든 라인이 정체되게 되어 있다. Inaveyor를 기존의 OHT와 함께 구성함에 따라 이러한 정체 현

상을 막을 수 있고 Vehicle의 의존도를 줄여주어 보다 효율 적인 Vehicle의 운영이 가능해 진다.

이와 더불어 생산성 증대의 결과로까지 이어지게 된다.

Buffer Stocker Port의 목적은 OHT의 효율성을 증가시키고 Stocker로부터의 FOUP 공급과

배출 시 OHT Vehicle이 기다리는 시간을 없앤다.

OHT Vehicle은 FOUP을 Inaveyor로 운반하고 또한 Inaveyor로부터 FOUP들을 잡는다.

이는 기다리는 시간 없이 같은 Inaveyor를 통해 Stocker Robot까지 공급 및 배출이 가능해 진다.

Tool Buffer의 목적은 OHT Vehicle의 활용 성을

증가시키는 것이다.

OHT Vehicle은 공정장비의 두 개의 포트로 FOUP을

공급하고 배출시킨다. 새로운 공전 전의 FOUP을 가지고

공정장비로 접근하는 OHT는 빈 Port를 찾아서 FOUP

을 내려 놓지만, 만약 그림과 같이 빈 Port가 없다면

Inaveyor에 새로운 FOUP을 내려 놓고 기다리지 않고

바로 다음 진행 방향으로 주행을 할 수 있다.